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[发明专利]气体供给集成单元-CN200580006774.4有效
发明人：川久保修;武市昭宏;井上贵史;三轮敏一 -专利权人：喜开理株式会社
申请日： 2005-01-20 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明课题是提供一种可以容易地增设线路的气体供给集成单元。作为解决该课题的手段，其具有多个气体单元，所述气体单元通过流路块串连一体连接有：在出口流路设置的第一手动阀11；在上述第一手动阀和过程气体共同流路15连通的位置上设置的第二手动阀13；和在第一手动阀11和清洁气体共同流路16连通的位置上设置的第三手动阀14，在该气体供给集成单元中，具有与过程气体共同流路15的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀22、和与清洁气体共同流路16的端部连通的清洁气体共同流路端部手动阀23。
气体供给集成单元

[发明专利]气体供给集成单元和气体单元的增设方法-CN200580016044.2有效
发明人： 武市昭宏;青山达人;三轮敏一;长屋小典 -专利权人：喜开理株式会社
申请日： 2005-05-12 - 公布日： 2007-05-02 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：为了提供增设线路时的气体单元的操作性良好的气体供给集成单元和气体单元增设方法，在将气体单元(1、2、A～E)安装到轨道(31、32)上的气体供给集成单元上，设置过程气体共同流路端部手动阀(28)和吹扫气体共同流路端部手动阀(29)，在形成于轨道(31、32)上的导向槽(31a、31b、32a、32b)上，可滑动地安装形成有2个螺栓孔(471、471)的T型螺母(45、46、47)，在增设的第六气体单元(F)上设置与过程气体共同流路端部手动阀(28)连通的另一过程气体共同流路端部手动阀(41)和与吹扫气体共同流路端部手动阀(29)连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀(42)，通过将贯通该第六气体单元(F)的螺栓(V)紧固到螺栓孔(471)中，通过T型螺母(47F)将第六气体单元(F)安装到轨道(31、32)上。
气体供给集成单元增设方法

[发明专利]气体供给集成单元-CN200580014989.0无效
发明人： 武市昭宏;青山达人;三轮敏一;井上贵史 -专利权人：喜开理株式会社
申请日： 2005-04-15 - 公布日： 2007-04-18 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：本发明目的在于提供一种对在常温常压下容易液化的过程气体进行加热保温同时进行供给的气体供给集成单元。设在出口流路上的第一手动阀22、设在用于连通该第一手动阀22和过程气体共用流路44的位置上的气动阀26、以及用于连通该第一手动阀22和清洁气体共用流路43的位置上的第二手动阀25通过流路块46和单元固定板15串联连成一体而构成气体单元，所述气体供给集成单元包括多个气体单元，其中设有：保持部件18，截面呈コ字形，嵌合有流路块46和单元固定板15；和平面加热器16，夹持固定在保持部件18与流路块46及所述单元固定板15之间。
气体供给集成单元