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[实用新型]一种晶圆卡匣固定装置-CN202321266395.0有效
发明人：孔彬;相宇阳;舒畅;高健 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆卡匣固定装置，其包括托盘，托盘用于盛放装载晶圆的晶圆卡匣，晶圆卡匣的底板上开设有定位缺口，托盘上设置有感应件和限位件，感应件用于检测托盘上的晶圆卡匣是否放置到位，感应件与限位件信号连接，限位件用于在晶圆卡匣放置到位后穿过定位缺口对晶圆卡匣的底板限位。上述晶圆卡匣固定装置提供了一种自动固定晶圆卡匣的功能，当晶圆卡匣放置在底座上准备工作时，此装置可以自动压住晶圆卡匣，使晶圆卡匣即使被无意碰撞时，也不会倾倒侧翻，防止出现晶圆破碎的风险，提高了生产安全性和生产效率
一种晶圆卡匣固定装置

[发明专利]一种自动晶圆传片器-CN202110363056.3在审
发明人：段克波 -专利权人：博福特（厦门）新材料有限公司
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆片生产技术领域，具体为一种自动晶圆传片器，包括设备箱体和两组卡匣，一组卡匣内装有晶圆片，另一组卡匣为空卡匣，设备箱体顶部设置有两组卡匣定位结构；设备箱体顶部设置有检测机构，检测机构用于检测装有晶圆片的卡匣内晶圆片的朝向；设备箱体顶部设置有推料机构，推料机构用于将装有晶圆片的卡匣内的晶圆片传送至另一组空卡匣内，本发明在晶圆片传送时能够通过卡匣定位结构对卡匣进行精确定位，然后再通过检测机构检测卡匣内晶圆片的位置，避免晶圆片错位，最后通过推料机构实现卡匣的传送，整个传送过程简单、易操作，实现自动化传片，且能够对晶圆片进行检测避免晶圆片错位造成传片损坏。
一种自动晶圆传片器

[发明专利]传送及保护晶圆的装置-CN201710209058.0有效
发明人：张瑞堂 -专利权人：奇景光电股份有限公司
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提出一种传送及保护晶圆的装置，其包含晶圆容器；多个晶圆卡匣，设于晶圆容器内；啮合锁，用以避免多个晶圆卡匣产生移位，该啮合锁直接接触于多个晶圆卡匣的侧壁。
传送保护装置

[发明专利]湿式晶圆处理装置及晶圆卡匣-CN202111120336.8在审
发明人：吴进原;罗健辉 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种湿式晶圆处理装置，置放至少一晶圆，该湿式晶圆处理装置包含一固定座以及一晶圆卡匣。固定座包含相互间隔的一对卡榫构件。晶圆卡匣包含对应该对卡榫构件组装的一对旋转压杆，每一旋转压杆末端包含一楔形件，楔形件受各卡榫构件的一导引面导引，使各旋转压杆转动来限制所述晶圆相对晶圆卡匣之位移。再者，本发明还提供一种晶圆卡匣。
湿式晶圆处理装置晶圆卡匣

[实用新型]具限位功能之晶圆承载装置及其载晶卡匣装置-CN202221692886.7有效
发明人：吴进原;罗健辉 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型具限位功能之晶圆承载装置包括：一固定座、一翻转机构、一载晶卡匣、二限位构件、以及二限位驱动组件。所述翻转机构设置在固定座上，所述载晶卡匣设置在所述翻转机构上，在所述载晶卡匣内形成有多个载晶匣槽，所述二限位构件枢设在所述载晶匣槽上并可位于一限位位置以限制放置于所述载晶匣槽内的晶圆无法自所述载晶匣槽脱离所述限位驱动组件设置在所述翻转机构上以驱动所述限位构件自所述限位位置枢转到一释放位置以使晶圆能自由脱离所述载晶卡匣。上述装置的结构能够避免晶圆在浸泡于清洗或蚀刻药液时意外自所述载晶卡匣脱离。
限位功能承载装置及其载晶卡匣

[实用新型]湿式晶圆处理装置及晶圆卡匣-CN202122323467.8有效
发明人：吴进原;罗健辉 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种湿式晶圆处理装置，置放至少一晶圆，该湿式晶圆处理装置包含一固定座以及一晶圆卡匣。固定座包含相互间隔的一对卡榫构件。晶圆卡匣包含一对旋转压杆，该对旋转压杆的一端对应该对卡榫构件组装，每一旋转压杆末端包含一楔形件，楔形件受各卡榫构件的一导引面导引，使各旋转压杆转动来限制所述晶圆相对晶圆卡匣之位移。再者，本实用新型还提供一种晶圆卡匣。
湿式晶圆处理装置晶圆卡匣

[实用新型]一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置-CN201720195339.0有效
发明人：李涛;陈曦;王广禄 -专利权人：泉州市憬承光电科技有限公司
申请日： 2017-03-02 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于所述晶圆卡匣装置包括用于放置晶圆的卡匣载台、用于控制卡匣载台升降的升降轴传动装置和用于安装升降轴传动装置的升降轴固定座。本实用新型的设计机构能使得晶圆搬送机上能自动的进行卡匣的升降、检测晶片的存在数量和其存在的层数，方便机械手对某一层晶片进行提取和放回，效率较高，而且精确度较高。
一种晶圆搬送机晶圆卡匣装置

[实用新型]一种用于外延生长设备的晶圆匣与安装座-CN201821377495.X有效
发明人：沈文杰;傅林坚;潘文博;汤承伟;董医芳;麻鹏达;章杰峰;曹建伟 -专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2018-08-26 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，旨在提供一种用于外延生长设备的晶圆匣与安装座。该晶圆匣，包括由左卡座、右卡座、后盖以及上盖板组成的正面及底面敞口的匣型结构；安装座为一体化结构，包括前侧的矩形板与后侧的梯形板；矩形板上端面设有安装座竖槽与安装座横槽。本实用新型产品材料性质稳定，不会对晶圆造成污染；晶圆匣的左右卡座上的卡齿上表面与水平面成一定夹角，当晶圆摆在卡齿上时，晶圆与卡齿上表面没有完全接触，避免了晶圆和卡齿发生黏粘；晶圆匣结构相对简单，便于加工和制造，降低成本；且各构件以螺钉进行紧固，安装非常方便；晶圆匣外面左右两侧可设置对射光电传感器，对晶圆匣的每一片晶圆进行检测，精确检测晶圆位置。
晶圆安装座卡齿外延生长设备本实用新型矩形板上表面卡座半导体制造设备对射光电传感器一体化结构后盖产品材料底面敞口晶圆位置完全接触性质稳定左右两侧螺钉上端面上盖板梯形板左卡座检测横槽紧固竖槽加工污染制造

[实用新型]晶圆片或液晶面板卡匣的存取侦测装置-CN200520004705.7无效
发明人：林是彬 -专利权人：欣禾国际企业有限公司
申请日： 2005-02-05 - 公布日： 2006-05-03 - 主分类号： G01B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆片(wafer)或液晶面板(T.F.T)卡匣(cassette)的存取侦测装置，其在卡匣内部设有插槽，以供放置晶圆片(或液晶基板)，而卡匣底部设有透空部，其还包括超音波装置设于卡匣的底部外，以供发射出超音波，对晶圆片的表面进行侦测，从而达到确实解析要存取的晶圆片(或液晶基板)的正确位置，以准确存取晶圆片(或液晶基板)。
晶圆片液晶板卡存取侦测装置

[发明专利]一种高精度晶圆分选机-CN202110965982.8在审
发明人：卢国强 -专利权人：深圳市优界科技有限公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种高精度晶圆分选机，涉及晶圆分选机的技术领域，包括箱体，箱体中设置有放置台，放置台上设置有分选机构，分选机构包括吸附机构，放置台上转动连接有转动座，吸附机构设置在转动座上，放置台上设置有平移机构，平移机构上设置有分选卡匣，平移机构用于带动分选卡匣平移，分选卡匣用于安装晶圆，分选机构用于分选设置在分选卡匣上的晶圆。本申请具有提升分选机构选取晶圆环上晶粒的精度的效果。
一种高精度分选

[发明专利]晶圆匣-CN201610970550.5在审
发明人：汪文坚;贾红星;谢志峰 -专利权人：江苏纳沛斯半导体有限公司
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆匣，所述晶圆匣在至少一侧壁的边缘处沿竖直方向设置有一开口，开口内设置有沿竖直方向滑动的限位件，限位件上设置有与晶圆槽数量相等的凸块，相邻凸块之间的距离与相邻晶圆槽之间的距离相等；当晶圆匣处于装卸晶圆的状态时，限位件上相邻凸块之间的间隙与晶圆槽对应；当晶圆匣处于运输晶圆的状态时，限位件上的凸块与晶圆槽对应。本发明提供的晶圆匣在运输晶圆时，限位件由于重力作用自然下滑，从而使得限位件上的凸块卡合晶圆，故不需要进行钢条的翻转，就有效的防止晶圆从晶圆匣中滑落，提高了生产效率，降低了生产成本。
晶圆匣

[实用新型]晶圆匣防脱落装置-CN201922412427.3有效
发明人：孙军;潘亮良 -专利权人：无锡新微阳科技有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆匣防脱落装置，属于晶圆检测技术领域，其包括晶圆匣，所述晶圆匣承放在中测台上，所述中测台一侧设置有用于承放晶圆匣的升降台，其特征在于：所述晶圆匣内壁沿高度方向开设有若干用于卡合晶圆的托槽，所述晶圆匣一侧设置有连接晶圆匣两侧内壁的连接杆，所述升降台顶壁设置有限位块，所述连接杆朝向限位块的一侧设置有对中块，所述限位块背离升降台的一侧开设有供对中块插合的对中槽，所述晶圆匣的两侧外壁均设置有与升降台连接的防脱装置本实用新型具有在晶圆匣进行承放时不易出现脱落和倾倒的效果。
晶圆匣防脱落装置

[实用新型]晶圆片缓存机-CN201921805721.4有效
发明人：殷雪敏 -专利权人：东莞慧新辰电子科技有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆片缓存的技术领域，公开了晶圆片缓存机，包括将晶圆片从上游设备传输至下游设备的传送结构、沿横向往复移动的转移结构、沿纵向往复移动的卡匣以及沿纵向往复移动的定位结构；卡匣具有多个沿纵向依次分布的缓存腔当进行缓存时，定位结构朝上移动限制晶圆片移动，传送结构停止晶圆片的传输，转移结构将晶圆片抬起到位，再沿横向移动，将晶圆片送入卡匣的缓存腔内，卡匣沿纵向移动，实现多个晶圆片缓存；实现上流设备和下流设备的生产节拍进行调整，以及对晶圆片的短暂放置，且有效避免下游设备异常，影响上游设备的产品输出，从而提高生产效率。
晶圆片缓存

[实用新型]一种卡匣支撑装置-CN201520464660.5有效
发明人：吴帅师 -专利权人：北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
申请日： 2015-06-30 - 公布日： 2015-10-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种卡匣支撑装置，包括：支撑椅部，所述支撑椅部包括后板、前板、支撑面板，所述后板与所述前板通过支撑面板连接，所述后板与所述前板用于对卡匣进行限位，所述支撑面板用于支撑所述卡匣，所述卡匣包括多个卡槽，每个卡槽用于放置一个晶圆片；晶圆片支撑部，所述晶圆片支撑部包括斜支撑板，所述斜支撑板分别垂直于所述前板、所述后板以及所述支撑面板，所述斜支撑板的一端与所述支撑面板连接，所述斜支撑板的另一端与所述后板连接，所述斜支撑板具有一个斜面，所述斜面用于支撑所述卡匣中的一个晶圆片，所述斜面的宽度等于所述卡匣的一个卡槽的宽度。
一种支撑装置

[实用新型]一种晶圆卡匣-CN201720518381.1有效
发明人：王仕伟;李文连;任清江;晋芳铭 -专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
申请日： 2017-05-11 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆卡匣，卡匣主体连接在底座上，卡匣主体由底板、左侧板、右侧板、前侧板和后侧板围合而成，底板连接在底座上，左侧板和右侧板相对设置，左侧板上开设有多个左卡槽，右侧板上开设有多个右卡槽，左卡槽和右卡槽一一对应，左卡槽和右卡槽的轴线与水平面之间具有倾角，左卡槽和右卡槽的最大槽宽不小于晶圆厚度。本实用新型公开的一种晶圆卡匣，加工人员能更加方便地对晶圆的正面进行加工，有助于实现加工地彻底性。
一种晶圆卡匣

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