专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]气体旋转衬底座-CN95214057.8无效
  • 张济康;高鸿楷 - 中国科学院西安光学精密机械研究所
  • 1995-06-02 - 1997-02-05 - H01L21/20
  • 本实用新型属于专门用于制作半导体材料的装置的结构改进,是在环形沟槽内均布有排气孔,在凹陷中央开有旋塞孔与进气通道相通,并有一旋塞能与其吻合相接,定位针位于旋塞的中心,其周围均布有进气孔,托盘背底面有三条及其以上的圆弧线槽,线槽的辐射中心连通;该装置设计合理,其零部件容易加工,能提高半导体材料生长过程的平稳度和均匀性,从而使生长的成品率提高。
  • 气体旋转衬底
  • [发明专利]气体浮力旋转能动机-CN201110326705.9无效
  • 孙得云;孙元 - 孙得云;孙元
  • 2011-10-25 - 2013-05-01 - F03B17/02
  • 气体浮力旋转动力机是一种动力机械,利用它可以发电、驱动车船行驶。气体浮力旋转动力机主要有液缸、气缸、承接缸、传动链、传动轮轴、传动球、传动液、封密阀和溢流阀组成。气体浮力旋转动力机,主要工作原理是把空气势能转换为液体势能,然后通过浸没在液体和气体中的物体势能的变化获取动能。
  • 气体浮力旋转动机
  • [实用新型]旋转底座式气体终端-CN202020410799.2有效
  • 王民;马小佳;曲国兴;宋申修;侯欣妤;毛传涛 - 烟台冰科医疗科技股份有限公司
  • 2020-03-27 - 2020-11-06 - F16K1/00
  • 本实用新型公开了一种旋转底座式气体终端,包括上部锁紧单元和下部锁气单元;所述上部锁紧单元包括上阀体和安装在上阀体中心孔底部的阀芯座,所述阀芯座芯部设有上下贯通的阶梯通孔;所述上部锁紧单元还包括用于将插头下端固定在阶梯通孔中的锁紧装置;所述下部锁气单元包括安装在上阀体底部的旋转座,所述旋转座包括固定连接在一起的旋转上座和旋转下座;下部锁气单元还包括安装在旋转座中的下阀体,所述下阀体与旋转上座及旋转下座分别转动配合;所述下阀体上连接有水平设置的进气管,所述进气管穿过开设在旋转下座上的开窗。
  • 旋转底座气体终端
  • [实用新型]旋转气体分配阀-CN202120226974.7有效
  • 徐静初 - 苏州弗拉尔斯精密机械有限公司
  • 2021-01-27 - 2021-10-22 - F16K5/04
  • 本实用新型公开了旋转气体分配阀,包括旋转轴和气体分配轴套,所述旋转轴包括转轴主体,所述转轴主体两端固定设有转轴端头,所述转轴主体前端固定连接有气体分配法兰盘,所述气体分配法兰盘外端端面开设有多组以转轴主体中轴线为轴环形等距分布的吸气接孔本实用新型涉及气体分配阀技术领域,具体涉及旋转气体分配阀。
  • 旋转气体分配阀
  • [发明专利]成膜方法-CN201310711879.6有效
  • 池川宽晃;上西雅彦;高桥宏辅;小堆正人;小川淳 - 东京毅力科创株式会社
  • 2013-12-20 - 2017-03-22 - C23C16/40
  • 该成膜装置包括第1气体供给部、以及第2气体供给部以及能够载置多个基板的旋转台,其中,该成膜方法包括第1工序,自第1气体供给部和第2气体供给部供给氧化气体并使旋转旋转;第2工序,自第1气体供给部供给含有第1元素的第1反应气体并自第2气体供给部供给氧化气体,使旋转旋转,从而在基板上形成含有第1元素的第1氧化膜;第3工序,自第1气体供给部和第2气体供给部供给氧化气体并使旋转旋转;以及第4工序,自第1气体供给部供给含有第2元素的第2反应气体、自第2气体供给部供给氧化气体并使旋转旋转,从而在基板上形成含有第2元素的第2氧化膜。
  • 方法
  • [发明专利]气体检测装置-CN201610638945.5有效
  • 三浦真德 - 丰田自动车株式会社
  • 2016-08-05 - 2019-11-05 - G01N27/12
  • 本发明公开了一种气体检测装置。根据本发明的气体检测装置包括:气体传感器,其基于由于要测量的气体的吸附引起的电信号的变化来检测气体旋转体,其使气体传感器安装在旋转体上;以及电动机,其使旋转旋转气体传感器被设置在远离旋转体的旋转轴的位置处。电动机以恒定速度使旋转旋转
  • 气体检测装置
  • [发明专利]成膜装置-CN200980135521.5有效
  • 加藤寿;竹内靖 - 东京毅力科创株式会社
  • 2009-11-13 - 2011-08-10 - H01L21/31
  • 成膜装置具备气体喷嘴和整流构件,上述气体喷嘴沿长度方向形成有用于喷出反应气体的喷出孔,上述整流构件自上述气体喷嘴向旋转台的旋转方向上游侧或旋转方向下游侧突出。在上述结构中,针对自上述旋转方向上游侧流向该气体喷嘴的分离气体,限制该分离气体流入到上述气体喷嘴与载置有基板的旋转台之间,或者限制反应气体在分离气体的作用下自旋转台飞扬,从而防止处理区域中的反应气体的浓度下降
  • 装置
  • [发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN201610122028.1有效
  • 三浦繁博 - 东京毅力科创株式会社
  • 2016-03-03 - 2020-06-23 - H01L21/31
  • 基板处理装置包括:旋转台,其以能够旋转的方式设置于真空容器内,能够载置基板;第1反应气体供给部,其能够向旋转台的表面供给第1反应气体;第2反应气体供给部,其沿着旋转台的周向与第1反应气体供给部分开地设置,能够向旋转台的表面供给与第1反应气体发生反应的第2反应气体;活化气体供给部,其沿着旋转台的周向与第1反应气体供给部以及第2反应气体供给部分开地设置,能够向旋转台的表面供给被活化了的蚀刻气体;多个吹扫气体供给部,其沿着旋转台的周向与活化气体供给部接近地设置,能够向旋转台的表面供给吹扫气体,能够对从多个吹扫气体供给部分别供给的吹扫气体的流量独立地进行控制。
  • 处理装置以及方法
  • [发明专利]一种金属离心雾化制粉用高速离心雾化装置-CN201710356126.6在审
  • 陈雄武;王利民 - 湖南久泰冶金科技有限公司
  • 2017-05-19 - 2017-09-05 - B22F9/10
  • 一种金属离心雾化制粉用高速离心雾化装置,包括雾化罐体、旋转盘和气体驱动旋转轴;雾化罐体顶部中心设有金属熔炼漏包,其侧壁下端设有向气体驱动旋转轴输送驱动气体气体输送管,底部设有出粉管;气体输送管与高压气源连通;旋转盘位于金属熔炼漏包的正下方,旋转盘与气体驱动旋转轴顶端连接,并由气体驱动旋转轴驱动高速旋转气体驱动旋转轴的转速≥50000r/min。该高速离心雾化装置采用气体驱动旋转轴,安装方便,转速高达50000r/min以上,其制备的金属粉末粒径均匀,使用寿命长达10年以上。
  • 一种金属离心雾化制粉高速装置
  • [实用新型]一种金属离心雾化制粉用高速离心雾化装置-CN201720560158.3有效
  • 陈雄武;王利民 - 湖南久泰冶金科技有限公司
  • 2017-05-19 - 2018-02-23 - B22F9/10
  • 一种金属离心雾化制粉用高速离心雾化装置,包括雾化罐体、旋转盘和气体驱动旋转轴;雾化罐体顶部中心设有金属熔炼漏包,其侧壁下端设有向气体驱动旋转轴输送驱动气体气体输送管,底部设有出粉管;气体输送管与高压气源连通;旋转盘位于金属熔炼漏包的正下方,旋转盘与气体驱动旋转轴顶端连接,并由气体驱动旋转轴驱动高速旋转气体驱动旋转轴的转速≥50000r/min。该高速离心雾化装置采用气体驱动旋转轴,安装方便,转速高达50000r/min以上,其制备的金属粉末粒径均匀,使用寿命长达10年以上。
  • 一种金属离心雾化制粉高速装置
  • [发明专利]成膜方法-CN201310713574.9有效
  • 小川淳 - 东京毅力科创株式会社
  • 2013-12-20 - 2014-06-25 - C23C16/458
  • 该成膜方法所使用的成膜装置包括:旋转台;第1处理区域;第2处理区域;以及分离区域。该成膜方法包括以下工序:第1工序:在自第1气体供给部和分离气体供给部供给分离气体、自第2气体供给部供给氧化气体的状态下,使旋转旋转至少一周;第2工序:在自第1气体供给部供给含有规定的元素的反应气体、自第2气体供给部供给氧化气体、自分离气体供给部供给分离气体的状态下,使旋转旋转规定周数,从而在基板上形成含有规定的元素的氧化膜;第3工序:在自第1气体供给部和分离气体供给部供给分离气体、自第2气体供给部供给氧化气体的状态下,使旋转旋转至少一周。
  • 方法
  • [发明专利]混合气体分离装置-CN201710598243.3在审
  • 刘志鹏 - 刘志鹏
  • 2017-07-21 - 2017-09-22 - B01D53/24
  • 本发明提供一种混合气体分离装置,它包括旋转流道,所述旋转流道呈螺旋式或盘旋式或螺旋式加盘旋式结构,旋转流道两端设置有气体进口与气体出口;出口装置,其上设置有气体分离口,出口装置气体分离口插置于旋转流道的气体出口处,出口装置的气体分离口将旋转流道的气体出口沿旋转流道的径向从外径到内径分成若干通道;混合气体经过旋转流道在离心力的作用下,按照分子量的差异从不同的通道中流出,实现混合气体的分离。
  • 混合气体分离装置

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