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- [发明专利]用于在晶片上施加液体掺杂剂溶液的装置-CN200580004884.7无效
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A·穆恩泽尔
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壳牌阳光有限公司
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2005-02-11
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2007-02-21
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H01L21/00
- 用于在晶片(3)上施加液体掺杂剂溶液的装置(1),包括掺杂剂分配装置(5)、可在第一辊位置(15)和第二辊位置(17)之间水平平移的可转动的掺杂剂传送辊(7)和用于保持晶片的工作台(9),其中,该掺杂剂分配装置包括掺杂剂传送块(20)和具有由边缘(26)围绕的开口侧的流体容器(24),该开口侧朝向掺杂剂传送块(20),块托架(21)可在第一块位置和第二块位置(31)之间水平平移,在第一块位置掺杂剂传送块位于流体容器的开口侧下方,在第二块位置掺杂剂传送块已与位于第一辊位置的可转动的掺杂剂传送辊接触,在正常操作期间,在第二辊位置,可转动的掺杂剂传送辊已与晶片接触以将掺杂剂溶液施加在晶片表面上。
- 用于晶片施加液体掺杂溶液装置
- [发明专利]光纤稀土掺杂预制件的制造方法-CN00120094.1有效
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K·坦卡拉
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斯佩克特恩公司
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2000-04-07
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2001-03-21
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C03B37/018
- 公开了制造光纤稀土掺杂预制件的方法。通过改进化学汽相沉积工艺在可产生二氧化硅烟灰但也可避免其烧结的温度下在二氧化硅基衬底管内表面沉积高孔隙率二氧化硅烟灰层。然后将该衬底管在包括稀土元素和共掺杂剂的溶液中浸泡。排去溶液,用氯和惰性气流高温干燥。然后氧化稀土元素和共掺杂剂。最后,第二种共掺杂剂氯化物与氧在烧结温度流过烟灰层使其密实化,该温度下,该共掺杂剂氧化成氧化物并被送至烟灰层中稀土元素周围。稀土元素和优选共掺杂剂一起掺杂可增强稀土离子性能。其它掺杂剂也可同时使用以改进芯的折射率。
- 光纤稀土掺杂预制件制造方法
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