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- [发明专利]液体处理装置-CN01132819.3无效
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上川裕二
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东京毅力科创株式会社
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2001-06-30
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2002-02-06
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H01L21/304
- 一种液体处理装置,具有配有保持基板的保持机构和使保持机构旋转的旋转装置的基板旋转装置;为使保持在保持机构上的基板基本上垂直或基本上水平、变换基板旋转装置的姿势的姿势变换机构;对保持在保持机构上的基板进行规定的液体处理的处理腔室从基本上水平的容纳基板的容器内取出基板将其保持在保持机构上,使保持基板的保持机构变换姿势使基板基本上处于垂直状态,一面旋转基板一面向基板供应处理液体进行液体处理。
- 液体处理装置
- [发明专利]金属线接合装置-CN95118532.2无效
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南秀根
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三星航空产业株式会社
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1995-10-30
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2001-05-16
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B21F15/02
- 金属线接合装置包括框架;安装在框架上的X,Y台;安装在X,Y台上的变换器,其一端支承接合金属线的毛细管;安装到框架上的第一传送装置,使变换器的另一端上升,从而使用于金属线接合的毛细管上升;在第一传送装置之前安装到X,Y台上的第二传送装置,以在接合过程中使变换器的另一端上升;以及安装到框架和X,Y台上的第一位置探测部分,用以探测X,Y台沿X和Y方向的移动量,因而可减小根据头部分的驱动的能量损失。
- 金属线接合装置
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