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- [发明专利]热处理装置-CN202111368368.X在审
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近藤泰章;大森麻央
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株式会社斯库林集团
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2021-11-18
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2022-06-07
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H01L21/67
- 本发明的热处理装置中，对半导体晶圆进行加热处理的腔室(10)连接有助燃性气体管线(31)、可燃性气体管线(41)及惰性气体管线(51)。在对腔室(10)供给可燃性气体之前，从惰性气体管线(51)对助燃性气体管线(31)送入氮气，将助燃性气体管线(31)内置换为氮气。在对腔室(10)供给助燃性气体之前，从惰性气体管线(51)对可燃性气体管线(41)送入氮气，将可燃性气体管线(41)内置换为氮气。助燃性气体管线(31)及可燃性气体管线(41)设有共通的1根惰性气体管线(51)，因此能够减小气体供给相关要素的设置空间。
- 热处理装置
- [发明专利]挥发性气体处理系统及其方法-CN201310739767.1有效
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孙金魁;孙怿
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孙金魁
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2013-12-29
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2014-04-16
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B01D50/00
- 本发明公开了一种挥发性气体处理系统，所述挥发性气体处理系统包括挥发性气体处理装置和排气装置；所述挥发性气体处理系统还包括封闭的挥发性气体产生区域；所述挥发性气体产生区域设置有出气口，所述挥发性气体处理装置上设置有进气口和出气口；所述挥发性气体产生区域的出气口与所述挥发性气体处理装置的进气口相连接；所述挥发性气体处理装置的出气口通过管道与排气装置相连接。本发明的挥发性气体处理的方法，包括以下步骤：（1）挥发性气体通过封闭的挥发性气体产生区域的出气口经管道由挥发性气体处理装置的进气口进入挥发性气体处理装置中进行处理；（2）挥发性气体经过挥发性气体处理装置处理后，由挥发性气体处理装置的出气口通过管道与排气装置相连接。
- 挥发性气体处理系统及其方法
- [发明专利]一种晶圆表面颗粒清洗双旋喷嘴-CN201910397648.X有效
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彭博;李檀
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2019-05-14
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2023-05-26
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B05B7/04
- 本发明涉及一种晶圆表面颗粒清洗双旋喷嘴，包括喷嘴外壳及内芯，内芯上开设有液体通道及惰性气体旋转内、外环腔，惰性气体旋转内、外环腔分别连通有惰性气体空间，惰性气体空间开设于内芯上或由内芯与喷嘴外壳内壁之间形成；内芯上开设有用于连通惰性气体空间与惰性气体旋转内环腔以及用于连通惰性气体空间与惰性气体旋转外环腔的布风孔，惰性气体空间内的惰性气体通过布风孔呈旋转状向惰性气体旋转内、外环腔内进气；喷嘴外壳上分别开设有向惰性气体旋转内、外环腔通入惰性气体的惰性气体进气口。本发明通过改变惰性气体旋转方向产生双螺旋或同向螺旋气流及控制惰性气体加速度，同时配合清洗化学液流量，可以达到既对晶圆损伤小，又可以高效清洗晶圆的目的。
- 一种表面颗粒清洗喷嘴
- [发明专利]包装气垫-CN201410358056.4有效
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涂宗铃;黄呈逢梁;陈劼
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厦门艾美森包装有限公司
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2014-07-25
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2014-10-29
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B65D81/03
- 本发明公开了一种包装气垫,它包括多个阵列式排布的弹性气囊，多个弹性气囊之间通过软折边相互连接为平面体，在多个弹性气囊中纵向排列的相邻弹性气囊之间设有通气管道；所述的阵列式排布的多个弹性气囊中的纵向弹性气囊和横向弹性气囊皆呈直线排列由于本发明阵列式排布的多个弹性气囊中的纵向弹性气囊和横向弹性气囊皆呈直线排列，在受到横向压力时，相邻弹性气囊之间可有效支撑，抗压性好；而且，本发明的具有两个进气口，在热封时，一个进气口封闭后，另一个进气口可进行二次充气，弹性气囊的饱和度高。
- 包装气垫
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