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[发明专利]具有低功耗的泵送方法和设备-CN201080052223.2有效
发明人： T·尼尔 -专利权人：阿迪克森真空产品公司
申请日： 2010-10-27 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：泵送设备包括：干式低真空泵，它装备有连接到真空室的气体入口并且具有通向导管的气体出口；安放在该干式低真空泵的出口处的导管中的传送单向阀；以及相对于该传送单向阀平行安装的喷射器。泵送方法包括以下步骤：利用干式低真空泵通过气体入口泵送真空室中所含的气体；将干式低真空泵的气体出口连接到喷射器上；测量由干式低真空泵使用的电功率和该干式低真空泵出口处的管道中的气体的压力；当干式低真空泵出口处的气体的压力升高越过设定值和干式低真空泵消耗的电功率升高越过设定值时，在时间延迟之后，起动喷射器；当干式低真空泵消耗的电功率下降越过设定值和干式低真空泵出口处导管中气体的压力下降越过设定值时，使喷射器停止。
具有功耗方法设备

[发明专利]干式腐蚀方法-CN00106884.9无效
发明人：杉浦弘;成田雅贵 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2000-03-10 - 公布日： 2004-01-21 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：公开了一种干式腐蚀方法，用于在以铝作为主要成分的金属膜与至少包含钛和氮化钛的其中之一的薄膜的叠层膜的构图。该干式腐蚀方法采用具有不加工金属膜的气体组成的第一腐蚀气体(CF₄气体、Ar气体和Cl气体的混合气体)干式腐蚀薄膜。然后，采用具有与第一腐蚀气体不同的气体组成的第二腐蚀气体(Cl气体和BCl₃气体的混合气体)干式腐蚀金属膜。
腐蚀方法

[实用新型]一种干熄焦循环气体分析仪取样装置-CN201320326190.7有效
发明人：王宝权;李世涛;赵金刚;王抚锦 -专利权人：鞍钢股份有限公司
申请日： 2013-06-06 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： G01N1/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体自动分析领域，特别涉及一种干熄焦循环气体分析仪取样装置，其特征在于，包括湿式取样管和干式取样管，湿式取样管和干式取样管的入口均与循环气体管路相连，湿式取样管出口经截止阀一与分析仪入气端相连，干式取样管出口经截止阀二与分析仪入气端相连，湿式取样管和干式取样管构成并联结构，截止阀二上游侧的干式取样管出口管路上设有氮气吹扫管。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将湿式取样管和干式取样管互为备份，使气体分析仪能连续、可靠、安全、高效地运转，在一套取样装置出现问题需处理时，不影响干熄焦循环气体分析仪的正常测量，降低仪表故障率，满足干熄焦生产需要。
一种干熄焦循环气体分析取样装置

[发明专利]干式蚀刻气体及干式蚀刻方法-CN200580025518.X无效
发明人：关屋章;杉本达也;山田俊郎;间濑贵信 -专利权人：独立行政法人产业技术综合研究所;日本瑞翁株式会社
申请日： 2005-05-30 - 公布日： 2007-08-08 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明涉及由分子内具有醚键或羰基及氟原子、仅由碳原子、氟原子及氧原子构成、且氟原子数与碳原子数之比(F/C)为1.9以下、碳原子数为4～6的含氟化合物(其中环状醚键为1个、碳碳双键为1个的含氟化合物及羰基为1个的含氟饱和化合物除外)构成的干式蚀刻气体；由选自稀有气体、O₂、O₃、CO、CO₂、CHF₃、CH₂F₂、CF₄、C₂F₆及C₃F₈的至少1种气体和上述干式蚀刻气体构成的混合干式蚀刻气体；将上述干式蚀刻气体等离子体化加工半导体材料的干式蚀刻方法等根据本发明，提供能够安全地使用、对地球环境的影响小、能够对半导体材料高选择性且以高干式蚀刻速率实现图案形状良好的干式蚀刻的干式蚀刻气体、及使用该干式蚀刻气体的干式蚀刻方法等。
蚀刻气体方法

[实用新型]一种干式螺杆真空泵-CN202320634183.7有效
发明人：周浩 -专利权人：南京金尊流体技术有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F04C29/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种干式螺杆真空泵，包括固定架，在固定架上可拆安装有干式螺杆泵本体，在干式螺杆泵本体的输入端对应安装有进气管，在干式螺杆泵本体的输出端对应安装有排气管，在进气管顶部连通安装有净化单元。本实用新型通过在干式螺杆泵本体的进气管上增配有净化单元，继而实现了对流通气体的多重净化，保证了进入干式螺杆泵本体内部的气体洁净度，延长了干式螺杆泵本体的使用寿命，避免气体的携带的杂质以及异物进入干式螺杆泵本体内部增大内部螺杆之间的磨损的问题，在输送管上增配有封堵部，继而实现了对输送管的单向封堵效果，保证了气体稳定的输入干式螺杆泵本体内，且不会出现反窜气体的问题。
一种螺杆真空泵

[发明专利]一种干式真空泵的清洁装置-CN201810884474.5在审
发明人：万金梅;翟雨佳;南志华;侯振华;李文红;朱佰喜 -专利权人：深圳市石金科技股份有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： F04C29/00 文献下载
摘要：本发明公开一种干式真空泵的清洁装置，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及清洁气体供给装置；主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；所述分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀；干式真空泵的排气口处设有主排气管道以及副排气管道，主排气管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀，副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀通过清洁气体将泵内剩余的气体以及杂质带走，从根源上解决螺杆卡死的问题，从而确保干式真空泵停机后能够正常重新启动，延长其工作寿命，减少能耗。
干式真空泵清洁气体开关阀主排气管道供给装置排气管道清洁装置正常作业分管道主管道排出进气口连接第一开关工作寿命排气口处螺杆卡停机能耗分管清洁主管

[实用新型]一种干式真空泵的清洁装置-CN201821254794.4有效
发明人：万金梅;翟雨佳;南志华;侯振华;李文红;朱佰喜 -专利权人：深圳市石金科技股份有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： F04C29/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种干式真空泵的清洁装置，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及清洁气体供给装置；主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀；干式真空泵的排气口处设有主排气管道以及副排气管道，主排气管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀，副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀通过清洁气体将泵内剩余的气体以及杂质带走，从根源上解决螺杆卡死的问题，从而确保干式真空泵停机后能够正常重新启动，延长其工作寿命，减少能耗。
干式真空泵清洁气体开关阀主排气管道供给装置排气管道清洁装置正常作业分管道主管道排出本实用新型进气口连接第一开关工作寿命排气口处螺杆卡停机能耗分管清洁主管

[实用新型]一种干熄焦循环气体分析仪取样装置-CN202020940087.1有效
发明人：朱振宇;于长斌;于松;邱广穆;李涛;陈纪宏 -专利权人：鞍钢股份有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： G01N1/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及工业检测分析仪表技术领域，特别涉及一种干熄焦循环气体分析仪取样装置。包括第一干式取样管、第二干式取样管、湿式取样管与集气稳压箱，第一干式取样管一端与循环气体管路相连，另一端与集气稳压箱相连，第二干式取样管一端与循环气体管路相连，另一端与集气稳压箱相连，湿式取样管一端与循环气体管路相连，另一端与集气稳压箱相连，集气稳压箱分别与氮气吹扫管、排污管相连；还包括过滤器，干熄焦循环气体分析仪通过管路与集气稳压箱相连，干熄焦循环气体分析仪与集气稳压箱相连的管路上设有过滤器，过滤器内设有滤芯。能有效的将焦粉过滤，延长管路的维护周期，保障干熄焦循环气体分析仪的正常运行。
一种干熄焦循环气体分析取样装置

[发明专利]污泥干化设备及污泥干化方法-CN201910091433.5有效
发明人：王婷婷;孙浩 -专利权人：北京中矿环保科技股份有限公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： C02F11/13 文献下载
摘要：本发明涉及一种污泥干化设备及一种污泥干化方法，所述污泥干化设备包括：热泵，来自污水处理系统的工艺水被送入所述热泵中；干化装置，污泥被送入所述干化装置中进行干化；气体调节装置，所述气体调节装置连接到所述干化装置而形成闭式系统，用于干化污泥的气体在所述闭式系统中循环流动，污泥干化过程中产生的饱和蒸发湿气从所述干化装置进入所述气体调节装置，所述气体调节装置对所述饱和蒸发湿气进行除湿干燥，并利用所述热泵的气冷器侧排出的换热介质将除湿干燥后的气体加热成热风，然后将所述热风送入所述干化装置中对污泥进行干燥。
污泥设备方法

[发明专利]干式超导磁体的低温冷却装置、冷却系统及其运行方法-CN202011297320.X在审
发明人：方志春;王维;信纪军;王曦瑶 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： H01F6/04 文献下载
摘要：本申请提供一种干式超导磁体的低温冷却装置、冷却系统及其运行方法，属于干式超导磁体的冷却技术领域。低温冷却装置的气体缓冲罐与蓄冷容器连通，且气体缓冲罐与蓄冷容器共同形成密闭腔，以使气体缓冲罐内的气体能够进入到蓄冷容器内冷却成固态冷媒以及蓄冷容器内升华后的固态冷媒能够进入到气体缓冲罐内。制冷机位于蓄冷容器外且被配置成将蓄冷容器内的气体冷却成固态冷媒，以及对干式超导磁体进行冷却；蓄冷容器被配置成固态冷媒升华时对干式超导磁体进行冷却。在制冷机停止工作的时候，可以减缓干式超导磁体的升温速率，延长干式超导磁体升温至温度阈值的时间，避免制冷机停机时干式超导磁体出现失超的情况，增加系统的稳定性和灵活性。
超导磁体低温冷却装置冷却系统及其运行方法

[实用新型]一种干式吸附桶净化装置-CN202020059135.6有效
发明人：胡毅志 -专利权人：上海正帆科技股份有限公司
申请日： 2020-01-10 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及尾气处理技术领域，公开一种干式吸附桶净化装置。干式吸附桶净化装置包括空气发生组件、气体净化器和温度检测仪。干式吸附桶设置有第一进气口和第一排气口，空气发生组件连接于第一进气口，空气发生组件的气体通入干式吸附桶内，能够与干式吸附桶内的填料发生氧化反应，以净化填料；气体净化器设置有第二进气口和第二排气口，第二进气口连接于第一排气口，气体净化器用于净化干式吸附桶内氧化后产生的有毒气体；温度检测仪能够测量干式吸附桶内部的温度。本实用新型实现了连续在线氧化，操作人员可以通过温度变化判断填料的反应程度，同时确保产生的有毒气体不外漏，安全无污染，规范作业流程，提高作业安全性。
一种吸附净化装置

[实用新型]干式超导磁体的低温冷却装置及冷却系统-CN202022678028.4有效
发明人：方志春;王维;信纪军;王曦瑶 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01F6/04 文献下载
摘要：本申请提供一种干式超导磁体的低温冷却装置及冷却系统，属于干式超导磁体的冷却技术领域。低温冷却装置的气体缓冲罐与蓄冷容器连通，且气体缓冲罐与蓄冷容器共同形成密闭腔，以使气体缓冲罐内的气体能够进入到蓄冷容器内冷却成固态冷媒以及蓄冷容器内升华后的固态冷媒能够进入到气体缓冲罐内。制冷机位于蓄冷容器外且被配置成将蓄冷容器内的气体冷却成固态冷媒，以及对干式超导磁体进行冷却；蓄冷容器被配置成固态冷媒升华时对干式超导磁体进行冷却。在制冷机停止工作的时候，可以减缓干式超导磁体的升温速率，延长干式超导磁体升温至温度阈值的时间，避免制冷机停机时干式超导磁体出现失超的情况，增加系统的稳定性和灵活性。
超导磁体低温冷却装置冷却系统

[实用新型]一种螺杆式真空泵可凝性气体回收机组-CN201620169674.9有效
发明人：王有志;王永征 -专利权人：杭州非耀真空设备有限公司
申请日： 2016-03-07 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种螺杆式真空泵可凝性气体回收机组，包括螺杆干式真空泵，所述的螺杆干式真空泵的上部设置有螺杆干式真空泵进气口，螺杆干式真空泵的下部安装有排气管路，排气管路的另一端安装有螺旋管式换热器，螺旋管式换热器的底部安装有回收罐本实用新型的螺杆式真空泵可凝性气体回收机组将螺杆真空泵抽过来的气体经过冷凝后做到可凝性气体零排放，达到了气体回收和尾气减排的效果。
一种螺杆真空泵性气回收机组

[实用新型]一种污泥干化系统-CN201921948857.0有效
发明人：章华熔;陈菲琳;陈晓雷;林翔;彭存 -专利权人：福建龙净环保股份有限公司
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： C02F11/13 文献下载
摘要：本实用新型公开一种污泥干化系统，包括间接式干化装置，所述间接式干化装置包括污泥流道和换热介质流道，还包括：换热装置，与所述间接式干化装置相连，能够接收自所述换热介质流道流出的换热介质，以加热换热气体；预热装置，设于所述间接式干化装置的上游，并与所述换热装置相连，加热后的所述换热气体能够在所述预热装置内对污泥进行预热。本实用新型所提供污泥干化系统，其换热装置采用换热气体对间接式干化装置的换热介质的能量进行回收，并通过该换热气体在预热装置内对污泥进行预热，可以大幅提高能量的利用效率，避免能量浪费，还能够提高水分的蒸发效果
一种污泥系统

[发明专利]一种回热法污泥热干化系统-CN201710848153.5在审
发明人：胡俊敏 -专利权人：深圳市能源环保有限公司
申请日： 2017-09-19 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： C02F11/12 文献下载
摘要：本发明提出的一种回热法污泥热干化系统，主要包括污泥泵、污泥入口管道、表面式干化机、高温饱和蒸汽管路、高温凝结水管、疏水扩容器、污泥出口管道、干化机蒸发尾汽排放总管路、不凝气体排放管路及不凝气体风机，不凝气体风机设置在不凝气体排放管路上，来自高温饱和蒸汽管路的高温饱和蒸汽对表面式干化机进行加热，湿污泥从污泥入口管道进入表面式干化机、经加热处理后呈干化状态然后从污泥出口管道排出，在污泥入口管道上还设置表面式热交换器，利用表面式热交换器回收污泥干化时高温冷结水的余热加热进口污泥，提高干化机污泥入口温度，从而降低干化机热源损耗，实现节能。
一种回热法污泥热干化系统

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