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- [发明专利]无污染金属刻蚀方法及其装置-CN98111618.3无效
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朱刘;蒋振华;慎微
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朱刘
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1998-12-16
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2000-06-21
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C25F3/14
- 一种无酸污染的金属刻蚀方法,先在待加工金属板表面涂覆光致抗蚀剂,然后经干燥、感光、显影,对金属表面进行电致刻蚀,即采用正极电连接待处理金属,负极由另一导电体构成,正负极之间通有导电盐溶液,在正负极之间形成一个流动的液流设备包括导电盐溶液池、直流或脉动直流电源,与待处理金属连接的电源正极,与电源负极连接的导电电极,电源负极制成一腔体、并与导电盐溶液泵的输出管相连,电源负极的表面制有多个导电盐溶液出液孔。
- 无污染金属刻蚀方法及其装置
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