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- [发明专利]晶圆图像形变的修正方法-CN202211343910.0在审
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郭鑫;周侃;周文湛
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上海华力集成电路制造有限公司
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2022-10-31
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2023-01-03
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G03F7/20
- 本发明提供了一种晶圆图像形变的修正方法,提供一表面具有布线图形的晶圆,获取所述晶圆的设计版图和扫描图像,所述设计版图包括与所述布线图形相对应的设计图形,所述扫描图像包括与所述布线图形相对应的扫描图形;将所述扫描图像的中心与所述设计版图的中心对准,使所述扫描图像与所述设计版图重合,分别提取所述设计图形和所述扫描图形,所述设计图形和所述扫描图形不完全重合;以及,根据所述设计图形对所述扫描图形进行修正,使修正后的扫描图形与所述设计图形重合,从而获得所述测试晶圆的修正图像,所述修正图像包括修正后的扫描图形。本发明通过修正晶圆的具有图形形变的扫描图像,得到了更符合实际情况的修正图像。
- 图像形变修正方法
- [发明专利]扫描仪的偏差校正系统-CN98101967.6无效
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温在卿;金海喆
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三星电子株式会社
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1998-05-22
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1999-01-20
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H04N1/047
- 扫描仪偏差校正系统,包括中央处理单元,产生用于读出校正程序对扫描偏差进行校正的控制信号,和一个测试图形,打印该测试图形,扫描该打印的测试图形,然后用于对扫描偏差进行校正;打印驱动器,产生一个控制信号,用于打印自中央处理单元产生的测试图形,把该测试图形送回到一扫描位置;一个打印单元,根据打印驱动器提供的控制信号打印测试图形和随后把该测试图形回送到扫描位置;图像处理单元,根据控制信号产生用于扫描该测试图形的控制信号;和一个往复式扫描仪组件,根据上述控制信号扫描该测试图形和产生图像数据。
- 扫描仪偏差校正系统
- [实用新型]一种图形码扫描装置-CN201420584268.X有效
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张启明
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深圳长城开发科技股份有限公司
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2014-10-10
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2015-01-14
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G06K7/10
- 本实用新型公开了一种图形码扫描装置,用于解决现有技术中摄像头图形码扫描装置扫描效率低、设备成本高的技术问题,所述装置包括:用于扫描采集图形码的图像数据的图像采集器(10);围绕图像采集器(10)设置,用于在图像采集器(10)扫描采集所述图像数据时通电发光以对所述图形码进行定位的多个扫描定位指示灯(20);与图像采集器(10)连接,用于将所述图像数据解码为图形码数字信号的解码电路(30);实现了基于摄像头的图形码扫描装置不用借助显示屏也能快速定位并扫描图形码数据
- 一种图形扫描装置
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