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- [发明专利]利用激光蚀刻的图案形成方法-CN201380019806.9有效
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郑光春;李仁淑;崔静娥
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印可得株式会社
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2013-02-12
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2018-03-13
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H01L21/027
- 本发明涉及利用多种激光功率来制造折射率匹配(Index matching)特性优秀的导电性金属线透明电极微细图案电极的制造方法。更加详细地说,包括①在多种基材上形成均匀的导电性金属纳米线层的步骤;②在导电性透明电极上形成光学透明且具有绝缘性的多种聚合物层的步骤;以及③在导电性膜表面直接照射激光而形成微细图案电极的步骤。由此,导电性微细图案电极制造方法的特征在于,均匀地排列金属纳米线而形成低电阻的导电性层,并在该导电性电极层上形成利用了绝缘聚合物的保护膜来保护导电性电极膜。此外,当利用使激光功率变化来形成导电性微细图案电极的该技术时,具有能解决透明电极固有的可视性问题、能实现优秀的图案分辨率和微细线宽的效果。
- 利用激光蚀刻图案形成方法
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