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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途-CN202110190968.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李宁 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途，所述处理方法包括采用第一刀具对钛靶材进行第一车削，得到粗处理钛靶材；采用材质为金刚石的第二刀具对所述初处理钛靶材进行第二车削，得到精处理钛靶材；对所述精处理钛靶材进行抛光处理，得到处理后钛靶材，所述处理方法能够降低钛靶材表面的应力层厚度与粗糙度，处理后钛靶材应用于溅射成膜中，提高钛靶材在溅射中的使用质量与使用寿命，减少溅射过程中的初期功耗。
一种钛靶材处理方法后钛靶材用途

[发明专利]钨钛靶材的车削方法-CN201510315997.4在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;马松 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-06-10 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： B23B1/00 文献下载
摘要：一种钨钛靶材的车削方法，包括：提供钨钛靶材和背板；将所述钨钛靶材和背板焊接在一起，形成钨钛靶材组件；采用第一刀具对所述钨钛靶材组件中的所述钨钛靶材进行第一车削，所述第一刀具切削刃的夹角为80°；在所述第一车削后，对所述钨钛靶材组件的所述背板进行加工；在对所述钨钛靶材组件的所述背板进行加工后，采用第二刀具对所述钨钛靶材的坯料进行第二车削，所述第二刀具切削刃的夹角为35°～55°。所述车削方法以提高所形成的钨钛靶材的质量，并且减缓刀具的磨损。
钨钛靶材车削方法

[发明专利]靶材与背板的焊接方法-CN201110329889.4无效
发明人：潘杰;姚力军;王学泽;周友平 -专利权人：余姚康富特电子材料有限公司
申请日： 2011-10-26 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；将钛靶材焊接面加工成螺纹状，对铝背板焊接面进行粗糙度加工；在所述铝背板外侧套上第一模具，在所述钛靶材焊接面的相对面覆盖第二模具；采用热压方法将所述钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对所述靶材组件进行热处理。本发明技术方案的靶材与背板的焊接方法，焊接后的钛靶材和铝背板之间的结合强度较高，且实现了钛靶材和铝背板的大面积焊接，降低了生产钛靶材和铝背板的靶材组件的成本。
背板焊接方法

[发明专利]钨钛铝靶材组件的焊接方法-CN201310754922.7有效
发明人：姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张涛 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： B23K20/14 文献下载
摘要：一种钨钛铝靶材组件的焊接方法，包括以下步骤：提供钨钛靶材、铝背板，所述铝背板具有容纳部分所述钨钛靶材的凹槽，所述凹槽的深度为1～2mm；将钨钛靶材置于所述凹槽内，所述钨钛靶材的待焊接面与所述凹槽底面接触，形成靶材组件坯料；将所述靶材组件坯料放入真空包套；利用热等静压工艺将所述钨钛靶材的待焊接面与所述凹槽底面焊接形成钨钛铝靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述钨钛铝靶材组件采用本发明的方法能够实现靶材高强度的焊接。
钨钛铝靶材组件焊接方法

[发明专利]一种平面异型钛靶组件的制备方法-CN202110758415.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈石;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种平面异型钛靶组件的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：对钛靶坯端面进行车削加工螺纹处理，将所述钛靶坯加工至所需形状，得到钛靶材；在背板表面加工凹槽，所述凹槽与所述钛靶材形状相匹配；将所述钛靶材与所述背板进行装配，并依次进行包套焊接以及热等静压焊接；对焊接后的所述钛靶材与所述背板进行校平处理，得到所述平面异型钛靶组件。所述制备方法制备得到的钛靶材组件尺寸精度高，靶材平面度好，焊接结合率和结合强度高，焊接结构适用于不同厚度设计的靶材。
一种平面异型组件制备方法

[发明专利]一种钛靶材与铝背板的装配方法-CN202011563446.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供及一种钛靶材与铝背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：(1)对钛靶材以及铝背板进行预处理；(2)对表面处理后的所述钛靶材以及铝背板进行装配并焊接；(3)对所述铝背板开设散热水道；(4)对装配后的钛靶材以及铝背板表面进行表面处理所述装配方法使得钛靶材与铝背板的结合率高，个体缺陷率低，冷却水道的设计提高了装配后的靶材的使用性能。
一种钛靶材背板装配方法

[发明专利]一种钨钛靶材与铜背板的钎焊方法-CN202010086052.0在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-02-11 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种钨钛靶材与铜背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)钨钛靶材与铜背板的焊接面分别独立的进行表面喷砂处理；(2)分别独立地对钨钛靶材与铜背板喷砂处理后的焊接面进行镀镍处理；(3)钎焊连接进行镀镍处理后的钨钛靶材与铜背板，完成钨钛靶材与铜背板的钎焊焊接。本发明通过喷砂处理提高了焊接面的粗糙度，通过镀镍处理使钨钛靶材与铜背板进行有效结合，从而提高了钨钛靶材与铜背板的焊接效果。
一种钨钛靶材背板钎焊方法

[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN201410854699.8有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;袁海军 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钨钛靶材组件的焊接方法，包括提供钨钛靶材、铜背板和中间层；将所述钨钛靶材、中间层和铜背板置于真空包套内并使所述中间层与所述钨钛靶材的待焊接面和铜背板的待焊接面贴合；利用热等静压工艺将所述钨钛靶材、中间层和铜背板焊接在一起以形成钨钛靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述钨钛靶材组件。通过本发明的焊接方法，可以实现钨钛靶材与铜背板之间的焊接，并且焊接效率较高，形成的钨钛靶材组件的焊接强度较高、变形量小，能够满足长期稳定生产和使用靶材的需要。
组件焊接方法

[发明专利]一种钛靶材和背板的扩散焊接方法及制得的钛靶材组件-CN202010098945.7在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-02-18 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛靶材和背板的扩散焊接方法及制得的钛靶材组件，所述扩散焊接方法包括如下步骤：(1)准备钛靶材、带有凹槽的背板和垫圈；(2)将步骤(1)所述钛靶材放入背板的凹槽内，将步骤(1)所述垫圈围在所述钛靶材四周，完成装配处理，然后再将整体放入包套内；(3)将步骤(2)得到的包套封口后进行脱气处理；(4)将步骤(3)脱气后的包套进行热等静压焊接，然后去除包套和所述垫圈，完成所述钛靶材和背板的扩散焊接。所述焊接方法通过加入垫圈有效地改进了钛靶材和背板的装配结构，提高了钛靶材和背板的焊接结合度，经超声波C扫描成像探伤仪检测，钛靶材和背板的焊接结合度在99％以上。
一种钛靶材背板扩散焊接方法组件

[发明专利]一种钛铝合金靶材与铝合金背板的钎焊方法-CN202310089613.6在审
发明人：姚力军;潘杰;廖培君;陈石;周友平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B23K1/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛铝合金靶材与铝合金背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)钛铝合金靶材的焊接面依次经喷砂处理与镀镍处理，得到预处理钛铝合金靶材；(2)将净化铝合金背板与步骤(1)所得预处理钛铝合金靶材分别独立地进行浸润处理，得到浸润铝合金背板与浸润钛铝合金靶材；(3)将步骤(2)所得浸润钛铝合金靶材与浸润铝合金背板扣合，在加压条件下冷却后得到钛铝合金靶材组件。本发明通过对钛铝合金靶材的焊接面进行预处理，搭配合理的浸润工艺参数与冷却方式，所得钛铝合金靶材组件的焊接结合率与结合强度较高，可以满足作为溅射材料的高品质要求。
一种铝合金背板钎焊方法

[发明专利]一种钛靶材与铜背板的装配方法-CN202011565617.X有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钛靶材与铜背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：(1)对钛靶材、中间层以及铜背板进行预处理；(2)对表面处理后的所述钛靶材、中间层以及铜背板进行装配并焊接；(3)对所述铜背板开设散热水道；(4)对装配后的靶材、中间层以及铜背板表面进行喷砂处理以及熔射处理。所述装配方法使得钛靶材与铜背板的结合率高，个体缺陷率低，冷却水道的设计提高了装配后的靶材的使用性能。
一种钛靶材背板装配方法

[发明专利]一种延长钨钛靶材寿命的方法-CN202110572169.4有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种延长钨钛靶材寿命的方法，所述方法包括：对焊接后的钨钛靶材以及铜背板的溅射面的边缘进行车削斜角处理，对喷砂区域进行遮蔽处理；对溅射面斜面进行铣削花纹处理；去除遮蔽物对喷砂区域进行喷砂处理；对钨钛靶材以及铜背板进行抛光处理所述方法可以解决钨钛靶材在使用后期的剥离问题，延长钨钛靶材寿命。
一种延长钨钛靶材寿命方法

[发明专利]一种条形钛靶材组件的焊接方法-CN202110305765.6有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;王青松;施凯煜 -专利权人：武汉江丰电子材料有限公司
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种条形钛靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括：将遮蔽后的背板和条形钛靶材进行加热，将焊料设置于所述加热后背板和条形钛靶材的焊接面并采用钢刷对焊接面进行处理；对所述钢刷处理后靶材的焊接面采用手枪钻钢丝钻头进行处理，之后进行浸润处理；对所述钢刷处理后背板的焊接面进行浸润处理；将所述浸润处理后的靶材和背板进行组装并放置压块，然后进行冷却，得到所述条形钛靶材组件；所述压块设置于靶材的非焊接面，沿着所述靶材的中心线设置通过对焊接前的特定的钢刷处理和浸润处理方式，并在随炉冷却中还设置有压块，使得靶材和背板可以实现良好的结合，保证靶材和背板的结合率高达99％以上。
一种条形钛靶材组件焊接方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材的焊接方法-CN202011099163.1在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;江胜君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钛铝合金靶材的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)对钛铝合金靶材和背板分别进行表面预处理，所述表面预处理为喷砂镀镍处理和/或抛光处理；(2)对经过表面预处理的钛铝合金靶材进行加热，然后将焊料分布在钛铝合金靶材的焊接面上；(3)对经过表面预处理的背板进行加热，然后将焊料分布在背板的焊接面上；(4)将分布有焊料的钛铝合金靶材与分布有焊料的背板贴合并进行钎焊焊接，冷却后得到钛铝合金靶材组件；其中，步骤(2)与步骤(3)不分先后顺序本发明提供的焊接方法适用于钛铝合金靶材的焊接，实现了低温环境下即可提高钛铝合金靶材的焊接结合率和焊接强度。
一种铝合金焊接方法

[发明专利]钨钛靶材坯料的制作方法-CN201110372337.1有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-11-21 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： B22F3/14 文献下载
摘要：一种钨钛靶材坯料的制作方法，包括：首先提供钨钛粉末；接着将钨钛粉末放置入真空包套，抽真空；然后采用热等静压工艺进行烧结成型；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出钨钛靶材坯料。采用本发明提供的钨钛靶材坯料的制作方法，避免使用模具，同时，形成的钨钛靶材坯料的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的钨钛靶材坯料的致密度、内部组织结构的均匀性。
钨钛靶材坯料制作方法

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