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- [发明专利]一种双固化清洁胶及多材料纳米压印模板清洁方法-CN202310216654.7在审
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邓萌萌
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璞璘科技(杭州)有限公司
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2023-03-01
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2023-06-23
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C09J7/30
- 本发明公开了一种双固化清洁胶及多材料纳米压印模板清洁方法,由固体主体、活性主体、光引发剂和稀释剂组成,所述固体主体包括环氧丙烯酸酯、聚邻甲苯缩水甘油醚‑甲醛、聚苯基缩水甘油醚甲醛中的一种或多种;所述活性主体包括乙氧化双酚A二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷缩甲醛丙烯酸酯、丙烯酸四氢呋喃酯、双酚A甘油酸酯二丙烯酸酯中的一种或多种;所述双固化清洁胶的粘度为200‑1000mPa·s;所述双固化清洁胶洁净度为200nm以下微杂质的含量不超过1ppm;所述双固化清洁胶的固化时间小于等于5min;针对现有多材料纳米压印模板清洁困难的问题,成功实现多材料模板的清洁,包括:无机模板、金属模板、有机模板等,而且不会损伤模板。
- 一种固化清洁材料纳米压印模板方法
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