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[发明专利]校正压力传感器的零点偏移电压的方法-CN200510078058.9无效
发明人：黄德昌;林弘毅;徐文祥 -专利权人：探微科技股份有限公司
申请日： 2005-06-14 - 公布日： 2006-12-20 - 主分类号： G01L19/00 文献下载
摘要：本发明提供一种校正压阻式压力传感器的零点偏移电压的方法，其至少包含有下列步骤。首先，提供至少一压阻式压力传感器测试样本，并测量出该压阻式压力传感器测试样本的一零点偏移电压值。接着在与该压阻式压力传感器测试样本相同的工艺条件下制作至少一压阻式压力传感器，且在制作该压阻式压力传感器的过程中，依据该应力偏差值在该压阻式压力传感器的至少一表面形成一应力调整薄膜，以校正该压阻式压力传感器的零点偏移电压
校正压力传感器零点偏移电压方法

[实用新型]具有可调线性线路的陶瓷压阻式压力传感器-CN200920035090.2无效
发明人：孙文钊;王润成 -专利权人：宝鸡航天华科机电工业有限公司
申请日： 2009-10-20 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： G01L1/20 文献下载
摘要：本实用新型属于电器元件技术领域中一种具有可调线性线路的陶瓷压阻式压力传感器，它包括XTR106为核心元件的陶瓷压阻式压力传感器，其特征是在陶瓷压阻式压力传感器的核心元件XTR106的1脚和2脚接到一起，本实用新型线路把陶瓷压阻式压力传感器的线性从不足0.5％调到0.2％以上。这样陶瓷压阻式压力传感器用在我们的生产上性能还要胜过扩散硅压力传感器，而且成本还比扩散硅压力传感器低。
具有可调线性线路陶瓷压阻式压力传感器

[发明专利]一种压力传感器垫圈-CN201910619998.6在审
发明人：刘子奇;刘彦铄;刘军财 -专利权人：法施达科技有限公司
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：一种压力传感器垫圈，包括垫片、压阻应变式压力传感器、胶层和信号发射装置，垫片为两个，上述两垫片上、下平行设置，压阻应变式压力传感器设置在两垫片中间，胶层包覆在垫片和压阻应变式压力传感器和信号发射装置的外部，信号发射装置与压阻应变式压力传感器相连接。当垫圈所受压力变化时，垫片间压阻应变式压力传感器的电阻发生变化，近场通讯模块被将压阻应变式压力传感器变化后的电流值传输至读取装置，一旦数值变动，则说明锚栓的固定状态有可能发生变动，能够利于快速对锚栓固定状态进行批量巡检
应变式压力传感器垫片压阻信号发射装置垫圈压力传感器固定状态胶层锚栓读取装置平行设置通讯模块包覆电阻近场巡检传输检测外部

[实用新型]一种压力传感器垫圈-CN201921073060.0有效
发明人：刘子奇;刘彦铄;刘军财 -专利权人：法施达科技有限公司
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：一种压力传感器垫圈，包括垫片、压阻应变式压力传感器、胶层和信号发射装置，垫片为两个，上述两垫片上、下平行设置，压阻应变式压力传感器设置在两垫片中间，胶层包覆在垫片和压阻应变式压力传感器和信号发射装置的外部，信号发射装置与压阻应变式压力传感器相连接。当垫圈所受压力变化时，垫片间压阻应变式压力传感器的电阻发生变化，近场通讯模块被将压阻应变式压力传感器变化后的电流值传输至读取装置，一旦数值变动，则说明锚栓的固定状态有可能发生变动，能够利于快速对锚栓固定状态进行批量巡检
一种压力传感器垫圈

[发明专利]一种集成温控的微小型硅压阻式压力传感器及其制造方法-CN202110907047.6在审
发明人：王新亮;罗芳海;雷中柱;俞骁 -专利权人：苏州司南传感科技有限公司
申请日： 2021-08-09 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成温控的微小型硅压阻式压力传感器及其制造方法，该集成温控的微小型硅压阻式压力传感器包含基板、盖板、恒温管壳、硅压阻式压力传感器芯片、温度传感器芯片和PI加热片；所述恒温管壳设置在基板和盖板之间，且两端分别与基板和盖板固定连接，形成恒温腔室；所述恒温管壳上还设置有导气管；所述硅压阻式压力传感器芯片和温度传感器芯片设置在基板上，且均位于恒温腔室内；所述PI加热片设置在恒温管壳上，用于给恒温腔室加热，使硅压阻式压力传感器芯片温度恒定；本发明不仅能保证硅压阻式压力传感器芯片温度恒定，避免温度波动对压力测量的影响，且结构简单、体积小，能满足压力传感器小型化、低功耗的要求。
一种集成温控微小型硅压阻式压力传感器及其制造方法

[发明专利]芯体复合式硅压阻压力传感器-CN201910808376.8有效
发明人：朱晓;柏楠;谢耀;韩士超 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种芯体复合式硅压阻压力传感器，以解决现有硅压阻式压力传感器进行压力测量时所存在的全量程精度缺陷问题。该压力传感器包括：多个硅压阻压力传感器芯体，所述硅压阻压力传感器芯体包括硅压阻压力传感器芯片，用于对待测件进行压力采集；多个所述硅压阻压力传感器芯片的量程不同，且多个所述硅压阻压力传感器芯片的量程覆盖使用的全量程；芯体复合外壳，所述芯体复合外壳用于对多个硅压阻压力传感器芯体组件进行封装，并对所述多个硅压阻压力传感器芯体组件提供统一测试压力介质；信息处理电路板，所述信息处理电路板设置在所述芯体复合外壳上，所述信息处理电路板用于控制并实现多个硅压阻压力传感器芯体的协同测量和切换输出
复合式硅压阻压力传感器

[实用新型]一种用于水压检测装置的压阻式陶瓷压力传感器-CN202121201653.8有效
发明人：王永亮 -专利权人：杭州锐丰电子工业有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于水压检测装置的压阻式陶瓷压力传感器，适应于压力传感器技术领域的生产与应用，用于水压检测装置的压阻式陶瓷压力传感器包括：压力传感器本体，压力传感器本体下部前后两侧开有缩口，且缩口内均嵌接有弹簧，本实用新型的有益效果在于：通过设置底壳、弹簧以及侧管，能够减小在拆除过程中对压力传感器本体的磨损，提升了该种用于水压检测装置的压阻式陶瓷压力传感器的实用性，同时通过设置竖管、S极磁环、N极磁片以及竖杆，以便于使用者对压力传感器本体进行安装，提升了该种用于水压检测装置的压阻式陶瓷压力传感器的便装性，解决了现有的用于水压检测装置的压阻式陶瓷压力传感器实用性差和不便于安装的问题。
一种用于水压检测装置压阻式陶瓷压力传感器

[发明专利]一种硅压阻式压力传感器封装结构及封装方法-CN202310423122.0在审
发明人：聂少校;孟凡瑞;高成臣;杨振川 -专利权人：北京大学
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅压阻式压力传感器封装结构及封装方法，所述硅压阻式压力传感器芯片通过粘胶固定在接线基座上，硅压阻式压力传感器芯片的输入输出电极通过键合引线与引线柱实现电信号连接，通过化学气相沉积的方法将派瑞林薄膜覆盖包裹硅压阻式压力传感器芯片和键合引线，起到隔离介质，保护压力传感器芯片和键合引线的作用。该封装结构可以有效减少封装体积，降低封装难度，且由于化学气相沉积法具有可同批次多传感器淀积的特点，可以进行大批量并行加工，有效降低硅压阻式压力传感器的封装成本。
一种硅压阻式压力传感器封装结构方法

[发明专利]一种生物步态特征识别装置-CN202010752635.2在审
发明人：王盛凯;王英辉 -专利权人：昆山微电子技术研究院
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： A61B5/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种生物步态特征识别装置，包括控制器和多个生物步态特征识别单元；多个生物步态特征识别单元沿水平方向呈矩阵排列；任一生物步态特征识别单元包括至少一个压阻式压力传感器和至少一个压电式压力传感器；压阻式压力传感器和压电式压力传感器均与控制器电连接；控制器用于通过压阻式压力传感器获取静态压力参数，通过压电式压力传感器获取动态压力参数，从而实现静态压力参数以及动态压力参数的同步采集。结合上述静态压力参数以及动态压力参数可以计算生物步态信息，从而实现生物步态特征识别功能。而压阻式压力传感器和压电式压力传感器的技术较为成熟，成本低廉。
一种生物步态特征识别装置

[发明专利]一种压阻式压力传感器输出超差自判断的方法-CN202310397358.1有效
发明人：李正安;孙志;李旺宾;王世宁;宋卫平;马利杰;李攀;王世宗;李凯;荆德杰;郝青显 -专利权人：新乡北方车辆仪表有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：一种压阻式压力传感器输出超差自判断的方法，压阻式压力传感器包括压阻式压力敏感芯体、滤波放大模块、温度采集模块和MCU，压阻式压力敏感芯体经滤波放大模块与MCU电连接，MCU与温度采集模块电连接，所通过MCUImage file="zy_3.JPG" imgContent="drawing" imgFormat="JPEG" orientation="portrait" inline="yes" />时，则压阻式压力传感器不超差，并通过MCU输出超差判断结果；当压阻式压力传感器MCU采集的U1和U满足不等式，则压阻式压力传感器不超差；反之，压阻式压力传感器超差；解决了需要专用设备获取特征参数的问题，实现压阻式压力传感器超差自判断工作
一种压阻式压力传感器输出判断方法

[发明专利]微机械超小型压阻式压力传感器及其制造方法-CN201510073360.9有效
发明人：漆斌 -专利权人：苏州亘科医疗科技有限公司
申请日： 2015-02-11 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本发明提供了在硅晶片制造一个或多个超小型压阻式压力传感器的方法。压阻式压力传感器的膜片是熔融粘结形成。压阻式压力传感器可以由硅沉积、光刻和蚀刻工艺形成。
微机超小型压阻式压力传感器及其制造方法

[实用新型]一种集成温控的微小型硅压阻式压力传感器-CN202121843938.1有效
发明人：王新亮;罗芳海;雷中柱;俞骁 -专利权人：苏州司南传感科技有限公司
申请日： 2021-08-09 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种集成温控的微小型硅压阻式压力传感器，包含基板、盖板、恒温管壳、硅压阻式压力传感器芯片、温度传感器芯片和PI加热片；所述恒温管壳设置在基板和盖板之间，且两端分别与基板和盖板固定连接，形成恒温腔室；所述恒温管壳上还设置有导气管；所述硅压阻式压力传感器芯片和温度传感器芯片设置在基板上，且均位于恒温腔室内；所述PI加热片设置在恒温管壳上，用于给恒温腔室加热，使硅压阻式压力传感器芯片温度恒定；本实用新型不仅能保证硅压阻式压力传感器芯片温度恒定，避免温度波动对压力测量的影响，且结构简单、体积小，能满足压力传感器小型化、低功耗的要求。
一种集成温控微小型硅压阻式压力传感器

[发明专利]一种基于STM32和LSTM的阀用压力传感器温度补偿方法及系统-CN202310777399.3在审
发明人：苏文斌;任伟;华迎利;卢旭浩;卫红波;赵玉梁;贾涵;母欣荣 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01L19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于STM32和LSTM的阀用压力传感器温度补偿方法及系统，采集压阻式压力传感器标定实验数据；根据压阻式压力传感器标定实验数据建立LSTM神经网络温度补偿模型；基于LSTM神经网络温度补偿模型和STM32实现阀用压力传感器温度补偿。本发明综合考虑了历史温度和当前温度对压力传感器输出的影响，采用LSTM神经网络和STM32对阀用硅压阻式压力传感器进行温度补偿，提高了压力传感器的测量精度。
一种基于 stm32 lstm 压力传感器温度补偿方法系统

[发明专利]数字式压阻式压力传感器电路及数字式压阻式压力传感器-CN202110579224.2在审
发明人：杨浩;徐鑫;郑东飞;袁海 -专利权人：西安微电子技术研究所
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本发明属于压力检测领域，公开了一种数字式压阻式压力传感器电路及数字式压阻式压力传感器，包括压阻式压力传感器芯片、可变增益放大器、A/D转换器、数字温度传感器、MCU及接口单元；压阻式压力传感器芯片用于检测外界压力得到压力电压信号并发送；可变增益放大器用于接收压力电压信号并进行放大得到放大压力电压信号；A/D转换器用于接收放大压力电压信号并进行A/D转换，得到初始数字电压信号；数字温度传感器用于检测当前环境温度，得到温度信号；MCU用于接收初始数字电压信号和温度信号极大的提升数字式压阻式压力传感器电路的精度，拓宽工作温度范围。
数字式压阻式压力传感器电路

[发明专利]一种高频动态MEMS压阻式压力传感器及其制备方法-CN202310695679.X有效
发明人：刘同庆 -专利权人：无锡芯感智半导体有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明涉及压力传感器技术领域，具体公开了一种高频动态MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，高频动态MEMS压阻式压力传感器包括包括基底、第一衬底和压力敏感薄膜，压力敏感薄膜设置在第一衬底上，第一衬底设置在所述基底上；压力敏感薄膜包括压敏电阻、欧姆接触区、第一钝化层、第二钝化层、压敏电极层、第三钝化层、第一驱动电极层、第一介电层、第二驱动电极层、第四钝化层、第五钝化层、第一应变电极层和第二介电层。本发明提供的高频动态MEMS压阻式压力传感器，能够有效提高MEMS压阻式压力传感器的高频动态特性，并且可以减小甚至消弭外界环境对传感器的冲击影响，降低压力传感器的零偏和温漂，提高压力传感器的精度。
一种高频动态 mems 压阻式压力传感器及其制备方法

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