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- [实用新型]静电键合密封电容腔体的压力传感器-CN02233960.4无效
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冯勇健
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厦门大学
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2002-05-13
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2003-03-19
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G01L9/12
- 涉及采用静电键合工艺密封电容腔体制作的电容式压力传感器。设上硅片、玻璃衬底、密封硅片和输出极;上硅片下表面为压力感受膜片,上硅片上设敞开口;上硅片的下表面设电容腔体;玻璃衬底上抛光面设电容腔电极和膜片电极,下抛光面上设有接触电极,上下抛光面之间设贯通小孔,贯通小孔分别与电容腔电极和接触电极连通,贯通小孔的表面设导电膜,电容腔电极与压力感受膜片之间设绝缘层;密封硅片的上表面与接触电极通过静电键合连接在一起,在密封硅片和膜片电极上分别设输出极,膜片电极上的输出极穿过上硅片的敞开口。
- 静电密封电容压力传感器
- [实用新型]烹饪器具-CN201720397142.5有效
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蔡何意;王本新;李欢欢;刘日贵;孟城城
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浙江绍兴苏泊尔生活电器有限公司
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2017-04-14
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2018-05-18
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A47J27/086
- 本实用新型提供了一种烹饪器具,该烹饪器具包括烹饪容器、盖体、传感器安装壳、压力感受片、电学元件和测量元件。烹饪容器用于盛放待烹饪的食材;盖体盖设在烹饪容器上;传感器安装壳上形成有测试口,传感器安装壳的具有测试口的部分从盖体上伸入至烹饪容器内;压力感受片设置在测试口上,当压力感受片两侧的压差发生变化时,压力感受片发生形变;电学元件设置在压力感受片上,电学元件的电学参数随着压力感受片的形变而发生变化;测量元件用于测量电学元件的电学参数。应用本实用新型的技术方案可以有效解决现有技术中对电压力锅进行压强测试时偏差较大的问题。
- 烹饪器具
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