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- [发明专利]一种分体式抽真空装置-CN202110636261.2在审
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闫庆鑫;张建斌;刘宇
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北京华拓绿能科技有限公司
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2021-06-08
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2021-07-23
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F04B37/14
- 本发明公开了一种分体式抽真空装置，包括机械泵机组和分子泵机组，机械泵机组包括机械泵体，与机械泵体连接的控制模块、真空计，承载机械泵体和控制模块的机械泵框架小车；分子泵机组包括分子泵泵体，与分子泵泵体连接的真空五通和分子泵控制器，以及承载分子泵泵体和分子泵控制器的分子泵框架小车；其中，机械泵体的进气口安装有真空三通，真空三通分别连接有用于测量真空度的第一电阻规和真空软管；真空软管与分子泵泵体连接以实现联动；控制模块包括控制机械泵机组和分子泵机组的PLC一体机，以及分别与机械泵机组和分子泵机组连接的电控模块。
- 一种体式真空装置
- [实用新型]一种分体式抽真空装置-CN202121277959.1有效
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闫庆鑫;张建斌;刘宇
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北京华拓绿能科技有限公司
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2021-06-08
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2021-11-23
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F04B37/14
- 本实用新型公开了一种分体式抽真空装置，包括机械泵机组和分子泵机组，机械泵机组包括机械泵体，与机械泵体连接的控制模块，承载机械泵体和控制模块的机械泵框架小车；分子泵机组包括分子泵泵体，与分子泵泵体连接的真空阀和分子泵控制器，以及承载分子泵泵体和分子泵控制器的分子泵框架小车；其中，机械泵体的进气口安装有真空三通，真空三通分别连接有用于测量真空度的第一电阻规和真空软管；真空软管与分子泵泵体连接以实现联动；控制模块包括控制机械泵机组和分子泵机组的PLC一体机，以及分别与机械泵机组和分子泵机组连接的电控模块。
- 一种体式真空装置
- [发明专利]便携式分子泵机组-CN202010989184.4在审
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陈琦;张延顺;董德胜;景加荣;黄佳荣;吴晓鹏
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上海裕达实业有限公司
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2020-09-18
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2020-12-22
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F04B41/06
- 本发明提供了一种便携式分子泵机组，包括：分子泵、隔膜泵、模拟量真空计、机组机箱、触摸屏控制器和减振器组件，其中，分子泵安装在机组机箱的上方；隔膜泵包裹安装在机组机箱的后部；减振器组件安装在隔膜泵的下方；模拟量真空计与分子泵相连；触摸屏控制器安装在机组机箱的前部。当便携式分子泵机组处于自动控制模式下，触摸启动键后，机组自动开始运行隔膜泵，模拟量真空计开始测量真空度，待真空系统达到分子泵的启动压强时，系统自动启动分子泵继续抽真空。本发明采用桌台型结构设计，使得分子泵机组的结构紧凑，能够放置在实验室的实验桌上，用于小型科学仪器和试验设备的抽真空。
- 便携式分子机组
- [实用新型]一种风冷分子泵机组用固定装置-CN202221985733.1有效
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龚鹰
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上海连隆电子科技有限公司
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2022-07-29
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2022-12-27
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F04D19/04
- 本实用新型涉及分子泵机组固定技术领域，尤其涉及一种风冷分子泵机组用固定装置，解决了现有技术中分子泵机组主要通过法兰盘与外部进行固定，这种固定方式在进行安装或拆卸时，都需要使用到扳手或者转动工具逐一转动多根螺栓进行固定或者拆卸一种风冷分子泵机组用固定装置，包括包括风冷分子泵机组壳体，所述风冷分子泵机组壳体上固定连接有第一法兰盘，所述风冷分子泵机组壳体上固定连接有支撑环，所述第一法兰盘上侧设有第二法兰盘。本实用新型能够在转动安装环时，一次转动多根螺栓，无需逐一转动螺栓进行风冷分子泵机组壳体的拆卸或安装，使用方便快捷。
- 一种风冷分子机组固定装置
- [实用新型]一种分子泵机组-CN202221434182.X有效
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王成孝
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北京中科九微科技有限公司
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2022-06-08
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2022-09-27
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F04D19/04
- 本实用新型提供的一种分子泵机组，包括机组壳体、分子泵组件和前级泵，所述机组壳体内具有容纳空腔；所述分子泵组件设于所述容纳空腔内部，所述分子泵组件包括分子泵本体，所述分子泵本体上的抽气部穿设于所述容纳空腔顶部并适于与待抽气件连接；所述前级泵与所述分子泵组件设于所述容纳空腔内，所述前级泵的抽气口与所述分子泵本体连通，所述前级泵用于对所述分子泵本体抽气以实现为所述分子泵本体提供前级真空度。通过将分子泵组件和前级泵设置在机组壳体内，且将前级泵的抽气口直接与所述分子泵本体连通，相对于现有技术中分子泵、机械泵位置分布散乱，彼此之间需要波纹管等连接件连接，本实用新型结构紧凑，方便安装。
- 一种分子机组
- [发明专利]等离子体镀膜设备及其抽气工艺-CN201310241939.2有效
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储昕
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储昕
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2013-06-19
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2013-09-11
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C23C16/44
- 一种等离子体镀膜设备及其抽气工艺，其采用并联抽气的电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组，取代现有技术串联抽气的涡轮分子泵（或扩散泵）+罗茨泵机组。由于电弧钛泵和牵引分子泵都是低能耗泵，加上电弧钛泵仅需在精抽阶段运行，运行时间不到整个抽气时间的1/3，牵引分子泵在镀膜阶段抽气能力大幅度高于涡轮分子泵（或扩散泵），而且牵引分子泵在镀膜阶段的抽速也不会随压强变化而显著变化，因此，本发明大幅度降低抽气能耗，提高了镀膜工艺稳定性和镀膜产品质量；加上电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组无油蒸汽污染，因此本发明还消除了传统抽气机组的油蒸汽污染，进一步保证了镀膜产品质量。
- 等离子体镀膜设备及其工艺
- [实用新型]一种鱼油加工分子蒸馏真空系统-CN201520103783.6有效
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周晓飞;杜寅
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江苏唯思康食品科技发展有限公司
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2015-02-13
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2015-07-22
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B01D3/10
- 本实用新型公开了一种鱼油加工分子蒸馏真空系统，包括6-15个分子蒸馏柱、高真空总管、2-4个分子增压泵、低真空总管、两级罗茨串联真空机组、旋片式真空泵，旋片式真空泵进口连接两级罗茨串联真空机组，两级罗茨串联真空机组出口连接低真空总管，低真空总管连接分子增压泵入口，分子增压泵出口连接高真空总管，高真空总管中间用控制阀分隔，一个分子增压泵连接2-3个分子蒸馏柱，分子增压泵的进口全部连接到低真空总管，分子增压泵的出口全部连接到高真空总管，本实用新型使用分子增压泵，适用性广，电力消耗只有旋片多级罗茨串联真空机组一小半，真空度还比旋片多级罗茨串联真空机组高一个数量级，操作简便，设备运行稳定，故障率低，经济效益高。
- 一种鱼油加工分子蒸馏真空系统
- [发明专利]蒸发镀膜设备及其抽气工艺-CN201310242244.6有效
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储琦
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储琦
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2013-06-19
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2013-09-25
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C23C14/24
- 一种蒸发镀膜设备及其抽气工艺，其采用并联抽气的电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组，取代传统的串联抽气扩散泵+罗茨泵+滑阀泵（或旋片泵）机组，其中，电弧钛泵可以快速抽除高真空的活性气体，牵引分子泵机组可以快速抽除高真空的惰性气体和中真空气体由于电弧钛泵和牵引分子泵都是低能耗泵，加上电弧钛泵主要在精抽阶段和镀膜阶段运行，运行时间不到整个抽气时间的1/3，因此本发明可以大幅度降低抽气能耗；另外电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组无油蒸汽污染，因此本发明还消除了传统蒸发镀膜设备的油蒸汽污染
- 蒸发镀膜设备及其工艺
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