专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种反应腔室及半导体加工设备-CN202010450136.8在审
  • 金根浩;李俊杰;李琳;王佳 - 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司
  • 2020-05-25 - 2020-08-25 - H01L21/67
  • 本发明涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种反应腔室及半导体加工设备,该反应腔室包括:出气口,该出气口与抽气单元连接;第一吸附过滤单元,设置于所述出气口处,用于在该抽气单元抽气时,对抽气气流中携带的副产物进行吸附,以减少副产物在抽气单元上的沉积,如果将过滤板装设于与反应腔室连接的管道上或其他部位,使得维护效率较低,进而在该反应腔室的出气口设置该第一吸附过滤单元,不需要额外维护管道或者其他部位,进而提高了维护效率,同时也有效降低副产物的输出,使得反应腔室出气口连接的抽气单元上沉积的副产物量也减少,避免对抽气单元的损坏,延长抽气单元的寿命。
  • 一种反应半导体加工设备
  • [发明专利]具有旋转压力表的打气筒-CN202010083354.2在审
  • 王罗平 - 昆山十全塑胶五金产品有限公司
  • 2020-02-09 - 2020-05-15 - F04B33/00
  • 本发明揭示了一种具有旋转压力表的打气筒,包含打气单元、表体单元,及导气单元;所述打气单元界定出可于其内产生高压气体的作动空间,及连通所述作动空间的出气通道;所述表体单元包括压力表、由所述压力表往外突伸且插入所述出气通道的凸伸轴,及圈套在所述凸伸轴外围且能挠性变形地塞入所述出气通道内的止逆阀;所述止逆阀在可供所述作动空间内的所述高压气体顺向流入所述出气通道的出气状态,及阻止所述出气通道内的所述高压气体逆向流回所述作动空间的止逆状态间改变;所述导气单元连接所述打气单元且用于导引所述高压气体向外输出。
  • 具有旋转压力表打气筒
  • [发明专利]卧式气液分离器-CN200710071588.X无效
  • 陆飞浩 - 陆飞浩
  • 2007-09-30 - 2009-04-01 - B01D45/12
  • 一种卧式气液分离器,其包括外壳和设置在外壳左右两侧的总进气口和总出气口,其特征在于外壳中空腔通过管板固定分布了多个分离单元,各个分离单元具有单元管壳,在单元管壳的左右两侧设置了进气口和出气口,在进气口里侧位置的中心棒与单元管壳里面之间环周分布固定有导流叶片,在出气口里侧位置固定有直径缩小了的出气管,出气管的端口成为出气口,在单元管壳的下面开有排液口,在外壳的下面连接有集液斗,集液斗的下端为总排液口。它的气流阻力大大减小,能耗也大大降低,而分离效果更加理想,结构紧凑合理,根据生产的实际需要,很容易地改变单元的数量来进行设计制造,特别是卧式设计,非常实用。
  • 卧式分离器
  • [实用新型]具有旋转压力表的打气筒-CN202020159523.1有效
  • 王罗平 - 昆山十全塑胶五金产品有限公司
  • 2020-02-09 - 2020-11-20 - F04B33/00
  • 本实用新型揭示了一种具有旋转压力表的打气筒,包含打气单元、表体单元,及导气单元;所述打气单元界定出可于其内产生高压气体的作动空间,及连通所述作动空间的出气通道;所述表体单元包括压力表、由所述压力表往外突伸且插入所述出气通道的凸伸轴,及圈套在所述凸伸轴外围且能挠性变形地塞入所述出气通道内的止逆阀;所述止逆阀在可供所述作动空间内的所述高压气体顺向流入所述出气通道的出气状态,及阻止所述出气通道内的所述高压气体逆向流回所述作动空间的止逆状态间改变;所述导气单元连接所述打气单元且用于导引所述高压气体向外输出。
  • 具有旋转压力表打气筒
  • [实用新型]卧式气液分离器-CN200620141285.1无效
  • 陆飞浩 - 陆飞浩
  • 2006-12-21 - 2007-12-05 - B01D45/16
  • 一种卧式气液分离器,其包括外壳和设置在外壳左右两侧的总进气口和总出气口,其特征在于外壳中空腔通过管板固定分布了多个分离单元,各个分离单元具有单元管壳,在单元管壳的左右两侧设置了进气口和出气口,在进气口里侧位置的中心棒与单元管壳里面之间环周分布固定有导流叶片,在出气口里侧位置固定有直径缩小了的出气管,出气管的端口成为出气口,在单元管壳的下面开有排液口,在外壳的下面连接有集液斗,集液斗的下端为总排液口。它的气流阻力大大减小,能耗也大大降低,而分离效果更加理想,结构紧凑合理,根据生产的实际需要,很容易地改变单元的数量来进行设计制造,特别是卧式设计,非常实用。
  • 卧式分离器
  • [实用新型]一种多尺寸垛叠的双内循环换热钟罩炉-CN202021746255.X有效
  • 蒋光宇;铁服广 - 南京派赛菲克炉业科技有限公司
  • 2020-08-19 - 2021-04-02 - F27B11/00
  • 本实用新型提供了一种多尺寸垛叠的双内循环换热钟罩炉,包括炉膛、第一换热单元、第二换热单元、第一烟道、第二烟道、混合气箱;第一换热单元与第二换热单元固定安装在炉膛内两侧,混合气箱固定安装在炉膛中间位置,第一烟道与第二烟道固定装在炉膛顶部;其中第一烟道出气口通过管道连通至第一换热单元,第一换热单元出气口通过管道连通至混合气箱进气口;第二烟道出气口通过管道连通至第二换热单元,第二换热单元出气口通过管道连通至混合气箱进气口;混合气箱设置多组对称的出气口,出气口连通至炉膛内。
  • 一种尺寸循环换热钟罩炉
  • [实用新型]微型气泵-CN201320111406.8有效
  • 张坤林 - 厦门科际精密器材有限公司
  • 2013-03-11 - 2013-10-16 - F04B35/00
  • 一种微型气泵,包含一驱动单元及一气流控制单元。气流控制单元受驱动单元的驱动而吸进或排出气体。活塞固定座具有第一进气通孔。活塞单元具有进气阀门及气缸部,进气阀门覆盖于对应的第一进气通孔上。第一阀门座位于活塞单元上,第一阀门座的导引槽跨接于对应的进气阀门与气缸部之间。第一阀门座具有第一出气通孔分别对准对应的气缸部,第一阀门座还具有一环形墙围绕于第一出气通孔。第一出气阀门覆盖于第一出气通孔上。第二阀门座连接于环形墙而共同形成压缩腔,第二阀门座具有第二出气通孔连通至压缩腔。第二出气阀门覆盖于这些第二出气通孔上。
  • 微型气泵
  • [实用新型]微型气泵-CN201220106908.7有效
  • 张坤林 - 科际器材工业股份有限公司
  • 2012-03-19 - 2012-10-10 - F04B35/00
  • 本实用新型揭露一种微型气泵,包含一驱动单元以及一气流控制单元。气流控制单元受驱动单元的驱动使气体吸进或排出气流控制单元,其中气流控制单元包含一压缩缸座、一压缩缸、一阀门座以及一出气阀门。阀门座位于压缩缸上,阀门座具有多个出气通孔分别对准对应的气缸部。出气阀门覆盖于出气通孔上。
  • 微型气泵

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