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- [发明专利]阀门关闭装置及阀门关闭方法-CN201710454063.8有效
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李宪朋
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武汉华星光电半导体显示技术有限公司
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2017-06-15
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2019-01-22
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F16K31/122
- 本发明提供一种阀门关闭装置及阀门关闭方法。该阀门关闭装置包括外壳、贯穿外壳底部的第一进气口、设于外壳内周面上的抵挡部、贯穿外壳侧壁且位于抵挡部上方的第二进气口、位于抵挡部与外壳底部之间的密封盘、露置于外壳顶部且一端伸入外壳内的传动装置;通过向第一进气口通入流量为第一流量的气体,推动密封盘向上移动至抵挡于所述抵挡部的同时推动传动装置伸入外壳内的一端向上移动至第二进气口上方的第一位置,带动阀门快速关闭,之后向第二进气口通入流量为第二流量的气体,推动传动装置伸入外壳内的一端从第一位置继续向上移动,带动阀门缓慢关闭直至完全闭合,保证阀门关闭速率的同时避免阀门闭合时因碰撞产生颗粒,提升产品品质。
- 阀门关闭装置方法
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