专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种铁酸柔性单晶薄膜的制备方法-CN202010834451.0在审
  • 尹志岗;张兴旺;吴金良 - 中国科学院半导体研究所
  • 2020-08-18 - 2022-02-22 - C30B29/22
  • 一种铁酸柔性单晶薄膜的制备方法,包括:在刚性衬底上生长氧化锌缓冲层,在氧化锌缓冲层上外延生长铁酸单晶薄膜,在铁酸单晶薄膜上旋涂一层溶有黑蜡的有机溶剂,得到黑蜡薄膜保护层,将刚性衬底放置在酸液中湿法腐蚀氧化锌缓冲层,待氧化锌缓冲层腐蚀完毕,得到的具有黑蜡薄膜保护层的铁酸单晶薄膜,将具有黑蜡薄膜保护层的铁酸单晶薄膜转移到柔性薄膜衬底上,并使其在柔性薄膜衬底上静止干燥,使用有机溶剂清洗掉铁酸单晶薄膜上的黑蜡薄膜保护层,得到铁酸柔性单晶薄膜。本公开提供的制备方法具有过程简单、成本、可控性强等优点,实现了铁酸单晶薄膜的柔性化,对发展基于铁酸的柔性功能器件具有重要意义。
  • 一种铁酸钴柔性薄膜制备方法

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