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[发明专利]悬臂梁的制作方法、悬臂梁及MEMS器件-CN201410375165.7有效
发明人：阮炯明;张冬平 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2014-07-31 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种悬臂梁的制作方法、悬臂梁及MEMS器件。其中，该制作方法包括在半导体基体上形成厚度相同且相连设置的第一悬臂梁材料和牺牲材料；在第一悬臂梁材料和牺牲材料上形成第二悬臂梁材料；刻蚀第一悬臂梁材料对应区域的第二悬臂梁材料和第一悬臂梁材料，以在第二悬臂梁材料和第一悬臂梁材料中形成通孔该制作方法有效地降低悬臂梁根部的弯曲转矩，进而降低了悬臂梁的根部发生断裂的风险，并延长了悬臂梁的使用寿命。
悬臂梁制作方法 mems 器件

[实用新型]一种压电发声装置-CN201721622226.0有效
发明人：韩菲菲;杨鑫峰 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种压电发声装置，传动部包括第一悬臂梁、第二悬臂梁，第一悬臂梁的根部连接在第一端，第一悬臂梁的自由端朝向第二端延伸并悬置在壳体内腔中；第二悬臂梁的根部连接在第二端，第二悬臂梁的自由端朝向第一端延伸并悬置在壳体内腔中；振膜连接在第一悬臂梁、第二悬臂梁的自由端位置；压电单元被配置为驱动第一悬臂梁、第二悬臂梁的根部位置。本实用新型的发声装置，振膜支撑在第一悬臂梁、第二悬臂梁的自由端位置，当压电单元驱动第一悬臂梁、第二悬臂梁的根部位置进行振动时，第一悬臂梁、第二悬臂梁自由端位置的振动幅度被放大，从而提高了振膜的振动幅度，
悬臂梁发声装置自由端位置振膜本实用新型根部位置壳体内腔压电单元振动幅度第一端自由端悬置压电驱动传动部发声延伸放大配置支撑

[发明专利]一种微悬臂梁加速度传感装置、传感器及其制备方法-CN202310421775.5在审
发明人：苗斌;李加东;徐瞻;顾智琦;冯昌坤;胡益民 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种微悬臂梁加速度传感装置、传感器及其制备方法，包括，惯性力传导单元；惯性力感知单元，其包括衬底、第一悬臂梁单元和第二悬臂梁单元，所述第一悬臂梁单元和所述衬底相连，所述第一悬臂梁单元包括第一响应悬臂梁组件和第一校准悬臂梁组件，所述第一响应悬臂梁和第一校准悬臂梁的刚度相同；第二悬臂梁单元，其和衬底相连，第二悬臂梁单元包括第二响应悬臂梁组件和第二校准悬臂梁组件，第二校准悬臂梁组件包括第二校准悬臂梁、第四压敏电阻和第四电极，第二响应悬臂梁和第二校准悬臂梁的刚度相同
一种悬臂梁加速度传感装置传感器及其制备方法

[发明专利]移动质量作用下的悬臂梁动态响应试验台架及其试验装置-CN200910045581.X无效
发明人：胡红生;钱苏翔 -专利权人：嘉兴学院
申请日： 2009-01-20 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： G01M7/02 文献下载
摘要：一种移动质量作用下的悬臂梁动态响应试验装置，其包括，试验台架，其包括，基座及固定于基座的下板，下板中央设有凹槽；悬臂梁，一端设于下板凹槽；左、右导轨，其一端设于下板凹槽；左、右上板，设于左、右导轨上方；质量块，设于悬臂梁上，与一运动发生装置相连；运动发生装置，包括伺服电机及其控制器、微机电源及速度控制器；加速度传感器，固定于质量块上；位移传感器，设于悬臂梁上；应变及电涡流位移传感器，安装于悬臂梁下端面本发明可以用于测试移动载荷作用下悬臂梁的横向振动特性，也可进一步用于悬臂梁振动的主动控制。
移动质量作用悬臂梁动态响应试验台架及其试验装置

[实用新型]移动质量作用下的悬臂梁动态响应试验台架及其试验装置-CN200920067173.X无效
发明人：胡红生;钱苏翔 -专利权人：嘉兴学院
申请日： 2009-01-20 - 公布日： 2010-02-10 - 主分类号： G01M7/02 文献下载
摘要：一种移动质量作用下的悬臂梁动态响应试验装置，其包括，试验台架，其包括，基座及固定于基座的下板，下板中央设有凹槽；悬臂梁，一端设于下板凹槽；左、右导轨，其一端设于下板凹槽；左、右上板，设于左、右导轨上方；质量块，设于悬臂梁上，与一运动发生装置相连；运动发生装置，包括伺服电机及其控制器、微机电源及速度控制器；加速度传感器，固定于质量块上；位移传感器，设于悬臂梁上；应变及电涡流位移传感器，安装于悬臂梁下端面本实用新型可以用于测试移动载荷作用下悬臂梁的横向振动特性，也可进一步用于悬臂梁振动的主动控制。
移动质量作用悬臂梁动态响应试验台架及其试验装置

[实用新型]一种多悬臂宽频MEMS压电俘能器-CN201220555946.0有效
发明人：姚峰林;高世桥;刘海鹏;牛少华;李平 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多悬臂宽频MEMS压电俘能器，属于微机械电子技术领域；具体采用MEMS工艺，体硅加工成形，包括微俘能器边框、主悬臂梁、多个次悬臂梁、多个下分布电极引线端、PZT压电层、多个上分布电极引线端和多根引线；各个次悬臂梁采用相同的多层矩形梁结构；微俘能器边框的中线位置制作主悬臂梁，多个次悬臂梁平均对称分布在主悬臂梁的两侧。各个次悬臂梁的顶电极层和上分布电极引线端采用引线一一对应连接，各个次悬臂梁的底电极层和下分布电极引线端采用引线一一对应连接。
一种悬臂宽频 mems 压电俘能器

[发明专利]基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针-CN202010692685.6在审
发明人：刘红英;刘光献;顾春川;邓敏;樊凯;李杜娟;厉力华;陈建龙 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明属于微纳米制造领域，尤其涉及一种基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针。其成型方法包括步骤：S1、将尺寸为微纳米数量级的硅基板放置于显微镜下；S2、对所述硅基板的表面进行离子刻蚀，形成若干个孔；S3、对离子刻蚀后的硅基板进行高温成型，以在硅基板内部形成空腔，得到内部含有空腔的悬臂梁；S4、将所述内部含有空腔的悬臂梁的一端固定，调节飞秒激光性能参数，在悬臂梁的另一端利用飞秒激光进行探针的成型。本发明制造悬臂梁探针的方法简易有效，省去了采购昂贵的试验设备所需的成本，并且悬臂梁内部含有空腔，提高了悬臂梁探针的谐振频率，从而提高了悬臂梁探针的探测精度。
基于激光高温成型悬臂梁探针方法

[发明专利]一种气体吸附量的测试方法-CN202310831416.7在审
发明人：陈琦然;涂敏;李昕欣;许鹏程 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01N5/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种气体吸附量的测试方法，基于气体吸附仪实现，气体吸附仪包括测试腔、悬臂梁以及频率获取装置；所述方法包括：将测试腔内的温度调节至预设温度，将悬臂梁置于测试腔内；基于频率获取装置，分别测试悬臂梁在平衡气下的第一频率以及在目标混合气下的第二频率；取出悬臂梁，将待测材料置于悬臂梁上，并将携带有待测材料的悬臂梁置于测试腔内；基于频率获取装置，分别测试携带有待测材料的悬臂梁在平衡气下的第三频率以及在目标混合气下的第四频率；根据第一频率、第二频率、第三频率以及第四频率进行数据分析
一种气体吸附测试方法

[发明专利]一种级联式悬臂梁能量收集装置-CN202010684137.9在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：金华伏安光电科技有限公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明涉及能量转化及收集领域，具体涉及一种级联式悬臂梁能量收集装置。具体地，在第一悬臂梁上设置第二悬臂梁，第二悬臂梁固定连接第三悬臂梁。第二悬臂梁、第三悬臂梁与第一悬臂梁之间产生耦合，不仅拓宽了第一悬臂梁和第三悬臂梁的共振频率，而且拾取了振源沿与第一悬臂梁垂直方向振动的能量，提高了能量收集效率，在振动能量收集领域具有重要的应用价值。
一种级联悬臂梁能量收集装置

[实用新型]一种桥墩检修平台的悬臂梁结构-CN202223550491.6有效
发明人：付开进;石长有;宋志刚;韩运达;罗遥凌 -专利权人：成自铁路有限责任公司;四川省中通和达科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： E01D19/10 文献下载
摘要：本实用新型属于装配式建筑领域，涉及一种桥墩检修平台的悬臂梁结构，包括由超高性能混凝土预制而成的悬臂梁本体，悬臂梁本体包括底座和水平支撑梁，底座的上部和下部均开设有预留安装孔，水平支撑梁的中部开设有两个预留孔，水平支撑梁头端的顶部开设有连接孔，水平支撑梁的尾端与底座连接。本实用超高性能混凝土制成的悬臂梁主体，不仅能避免传统钢悬臂梁因锈蚀出现掉块、折断情况，提高了悬臂梁耐久性，而且在同等受力的情况下，自身重量也有所降低。
一种桥墩检修平台悬臂梁结构

[实用新型]T型刚构码头结构-CN201120054621.X无效
发明人：李三希;昌黎明;徐利军;张卫星;颛孙伟恩 -专利权人：长江航运规划设计院
申请日： 2011-03-04 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： E02B3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种T型刚构码头结构，它包括T型刚构、靠泊设施和接卸平台，其特征是T型刚构包括基础、墩柱和预应力悬臂梁，所述基础、墩柱和预应力悬臂梁现浇成整体，预应力悬臂梁上设置有桁车轨道，两榀T型刚构并列布置，两榀T型刚构的预应力悬臂梁之间通过联系撑连成一体，靠泊设施固定在水侧预应力悬臂梁下，接卸平台置于岸侧预应力悬臂梁下。
型刚构码头结构

[发明专利]基准杆式单悬臂梁安全形变检测装置-CN201310365780.5在审
发明人：许楠 -专利权人：昆山中慈工控科技开发有限公司
申请日： 2013-08-21 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明采用了一种基准杆式单悬臂梁安全形变检测装置，可自动实时地检测单悬臂梁承重时的形变量，并与原设计规定的形变量进行比较，防止单悬臂梁设备在超载的状态下运行。通过检测单悬臂梁设备的形变推断出单悬臂梁设备的负载情况，从而发出控制指令，确保单悬臂梁设备工作在安全范围内。本发明是由单悬臂梁1、基准杆3、顶紧螺丝4、应变式测力传感器5和重锤式倒立摆角度传感器6组成。
基准杆式单悬臂梁安全形变检测装置

[发明专利]一种翼缘栓焊混合连接装配式梁柱节点的安装方法-CN201710903072.0在审
发明人：郁有升;鲁春晓;王燕;于德湖 -专利权人：青岛理工大学
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： E04G21/14 文献下载
摘要：安装方法包括以下步骤：钢柱吊装就位，并固定；悬臂梁下翼缘的拼接板充当就位板，实现框架梁的吊装定位；拼接板与框架梁下翼缘通过螺栓连接；悬臂梁腹板、框架梁腹板、节点板通过螺栓连接；悬臂梁上翼缘与框架梁上翼缘通过对接焊缝连接在悬臂梁的下翼缘布置拼接板，现场安装时，拼接板充当就位板，便于构件就位；悬臂梁下翼缘与框架梁下翼缘、悬臂梁腹板与框架梁腹板均通过螺栓连接，而悬臂梁上翼缘与框架梁上翼缘则通过对接焊缝连接，该种连接方式方便楼板的安装
框架梁拼接板腹板螺栓连接下翼缘悬臂梁悬臂梁上翼缘悬臂梁下翼缘对接焊缝混合连接装配式梁就位板上翼缘柱节点焊接建筑钢结构楼板安装效率吊装就位连接方式梁柱节点数量减少现场安装节点板就位钢柱栓焊翼缘种栓吊装火灾

[发明专利]一种漂浮式压电海洋波浪能发电装置-CN201510206252.4在审
发明人：潘成亮;王静;汪连坡;孙晓俊;曹灿;金磊;陈烁夷;张永宾 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2015-04-27 - 公布日： 2015-09-02 - 主分类号： F03B13/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种漂浮式压电海洋波浪能发电装置，包括基座、悬臂梁、支撑杆和外壳，基座和外壳均为立方体，基座位于外壳的中心，通过八个支撑杆刚性支撑，基座每个面的中心分别向外垂直安装一个悬臂梁，基座左右面的悬臂梁与基座上下面平行，基座前后面的悬臂梁与基座左右面平行，基座上下面的悬臂梁与基座前后面平行，悬臂梁的端部区域单侧或两侧贴设有质量块，悬臂梁与基座接近的根部区域单侧或两侧贴设有压电陶瓷片。本发明外壳漂浮在海面上随波浪运动，三对悬臂梁分别在三个方向的惯性作用下弯曲振动，通过压电陶瓷片回收三个方向的波浪运动能量。
一种漂浮压电海洋波浪发电装置

[发明专利]利用大应变悬臂梁曲率驱动的自动除雾换热方法及其结构-CN201711076854.8在审
发明人：张振亚;温小栋;周继彪;冯蕾 -专利权人：宁波工程学院
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： F28F17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用大应变悬臂梁曲率驱动的自动除雾换热方法及其结构，特点是该方法基于大应变悬臂梁曲面板表面凝结的水珠在受到大应变悬臂梁曲面板自身曲率梯度的作用下，向大应变悬臂梁曲面板的一侧定向移动并富集，然后利用具有亲水表面的吸水导流线或者富集处所设排水管，使水珠脱离大应变悬臂梁曲面板，实现自动除雾，其采用的结构中大应变悬臂梁曲面板为向内凹陷或向外凸起，若干个大应变悬臂梁曲面板等角度环形排布形成一个环形封闭的翅片管，相邻的大应变悬臂梁曲面板之间密封连接，优点是具有换热效率高、结构简单、无需维护、无需能耗、制造方便及轻便可靠。
利用应变悬臂梁曲率驱动自动雾换热方法及其结构