[发明专利]控制系统和方法

摘要

本发明计算由与多个加热器对应地设置的温度传感器测量的测量温度利用基准目标温度标准化的标准化测量温度，根据这些标准化测量温度计算基准值。分别计算该基准值与标准化测量温度的基准值偏差，分别计算将该基准值偏差求时间微分的偏差微分值。根据基准值偏差及其偏差微分值分别计算补偿增益。分别计算将各基准目标温度与其测量温度的偏差利用其基准目标温度标准化的标准化偏差。根据这些标准化偏差分别计算调整度。根据各补偿增益及其调整度分别计算补偿量。

主权项

1.一种控制系统，其特征在于：具有空间分布的多个加热器、与上述多个加热器分别对应地设置的并且测量控制对象的温度的多个温度传感器、根据指定的最终目标温度对每个加热器生成修正目标温度的目标温度生成装置和为了使由上述多个温度传感器测量的测量温度分别接近由上述目标温度生成装置生成的修正目标温度而分别计算操作量并将这些操作量分别给予上述多个加热器的控制器；上述目标温度生成装置具有将由上述多个温度传感器测量的测量温度利用分别对应的最终目标温度计算分别标准化的标准化测量温度并根据这些标准化测量温度决定基准值从而分别计算各标准化测量温度与上述基准值的基准值偏差的基准值偏差计算装置、通过对由上述基准值偏差计算装置计算的基准值偏差对时间求微分分别计算偏差微分值的偏差微分值计算装置、根据由上述基准值偏差计算装置计算的基准值偏差和由上述偏差微分值计算装置计算的偏差微分值分别计算补偿增益以使所有的标准化测量温度成为相同值的补偿增益计算装置、分别计算利用上述最终目标温度将由上述多个温度传感器测量的测量温度与分别对应的最终目标温度的偏差标准化的标准化偏差的标准化偏差计算装置、根据由上述标准化偏差计算装置计算的标准化偏差分别计算调整度的调整度计算装置、根据由上述补偿增益计算装置计算的补偿增益和由上述调整度计算装置计算的调整度以及指定的过渡期增益和指定的调稳定增益分别计算补偿量的补偿量计算装置和使用由上述补偿量计算装置计算的补偿量通过修正上述最终目标温度分别计算上述修正目标温度的目标温度计算装置。