[发明专利]分子泵

摘要

一种分子泵，其动叶轮由二只平圆盘组成，静叶轮由若干条螺旋状叶片组成，静叶轮安装在二只动叶轮中间，动、静叶轮构成具有两个拖动面的抽气槽。若干级上述叶轮同轴安装，可以组成串、并联组合的多级泵。这种单级或多级分子泵还可以与其它分子泵，以及旋转机械真空泵组合成复合真空泵。该泵结构简单、加工方便、抽速和工作压强高，成本较低。

主权项

1.一种分子泵，由动叶轮、动密封、转轴、静叶轮、泵壳、进气口和排气口等组成，动叶轮固定在转轴上，静叶轮和动密封固定在泵壳上，其特征在于：所述的动叶轮、静叶轮构成的叶轮组合中至少有一级双拖动面的基本抽气单元，该基本抽气单元包括：(1)两只平圆盘构成的动叶轮，两圆盘中至少有一只盘在靠近转轴处设有气孔，并在该圆盘外侧调动密封；(2)静叶轮由若干条螺旋状叶片及固定装置组成，静叶轮安装在二动叶轮中间，静叶轮上二相邻叶片与二侧的动叶轮之间的空间构成一个具有二个拖动面的抽气槽，动、静叶轮、转轴、泵壳之间在径向与轴向留有工作间隙，径向间隙兼作气体通道；(3)动密封安装在设有气孔的动叶轮的外侧，动密封与动叶轮和转轴之间在径向和轴向留有工作间隙，径向间除兼作气体通道。