[其他]栅形电容式位移传感器

摘要

本发明提供了一种栅形电容位移传感器，定极板上电极由矩形条状电极组成栅形；动极板上电极是四组矩形条状电极组成栅形交叉排列，适合大位移测量。克服边缘效应有了新的措施，可以保证电容变化量与位移量的高线性精度，使测量精度仅取决于小电容量的测量精度，这种电极排列方式既适用于直线位移的方形极板，又适用于旋转位移的圆形和筒形极板，极板上可大数和小数并列。

主权项

1、栅形电容式位移传感器，有一个定极板和一个可相对定极板在给定方向下作间距不变的平行运动的动极板，在相互对应的定极板和动极板平面上，沿极板运动方向，平行排列同宽度、同长度和等间隔的矩形条状电极(简称电极)，其特微是在定极板上所有电极两个端头中的一个端头，由与电极相垂直的矩形条状电极相连在一起，相邻电极之间的绝缘宽度as是大于每个电极的宽度bs，它们之间的关系是as=4bo-bs，式中bo是每个电极的位移测量量程(或称有效位移宽度)，bs的选定是bo≤bs＜2bo，在动极板上有A、C、B及D四组电极，且与位移方向相垂直的中心线两侧，左侧是A组电极与C组电极交叉相邻排列，右侧是B组电极与D组电极交叉相邻排列，每组各个电极可与定极板相同方式分别错开在两端相连在一起，或在极板的背面由导线相连，C组与B组邻近电极之间的绝缘宽度at=3bo-bs，A组与C组及B组与D组邻近电极之间的绝缘宽度同为au=2bo-bs，式中bo和bs同定极板的含义和规定，全部排列为…A3、C3、A2、C2、A1、C1、B1、D1、B2、D2、B3、D3…，其中脚码号为每组电极的序号，处于工作状态下的四种组合是A组与B组、C组与B组、C组与D组及A组与D组。