[发明专利]电场传感装置和方法在审
| 申请号： | 202311188214.1 | 申请日： | 2023-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN116930629A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 庄池杰;鲍成英;马昕雨;曾嵘;刘向东;蔡兆雨 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李亚丽;刘芳 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供一种电场传感装置和方法。该装置包括：测量系统和薄膜铌酸锂制成的传感探头，两者通过光纤连接；传感探头包括薄膜铌酸锂环形波导、薄膜铌酸锂直波导、薄膜铌酸锂平板、缓冲层和支撑材料，薄膜铌酸锂环形波导、薄膜铌酸锂直波导组成谐振腔；测量系统用于输出频率锁定至谐振腔的谐振频率的激光信号至传感探头，并接收通过谐振腔后输出的光信号；测量系统还用于将光信号转换为电信号，并根据电信号，获取谐振腔的谐振峰在频率方向上的移动；根据谐振腔的谐振峰在频率方向上的移动，计算出外界电场变化值。本装置可提高电场传感器的灵敏度并减小器件体积，增加电场传感装置的环境稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 电场 传感 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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