[发明专利]一种高精度电容薄膜真空计在审
| 申请号： | 202310841082.1 | 申请日： | 2023-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN116878725A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 林玉哲;陶继方;陈公贤 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01L9/12 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高精度电容薄膜真空计，包括上壳体和下壳体，上壳体的下表面固定有第一膜片，第一膜片与上壳体之间形成第一测量腔；下壳体的上表面固定有第二膜片，第二膜片与下壳体之间形成第二测量腔；上壳体的下表面和下壳体的上表面之间通过密封外壳连接，第一膜片和第二膜片与密封外壳之间形成真空参考腔；上壳体和下壳体的侧壁均开设导通槽，上壳体的上表面和下壳体的下表面通过连通外壳连接，密封外壳和连通外壳之间形成连通腔，第一测量腔和第二测量腔通过导通槽和连通腔连接；下壳体底部固定有连接管，第二测量腔通过连接管与待测真空腔体连接。本发明所公开的真空计电容变化量更大，反应更加灵敏，有利于提高电容检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 电容 薄膜 真空计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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