[发明专利]一种连续膨胀法校准标准漏孔的装置及方法在审
| 申请号： | 202310636161.9 | 申请日： | 2023-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN116929659A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 赵澜;董猛;成永军;陈联;孙雯君;张瑞芳;丁栋;管保国;李刚;冯天佑 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730010 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及测量技术领域，具体而言，涉及一种连续膨胀法校准标准漏孔的装置及方法，所述装置包括气体微流量计、监测真空计、质谱仪、校准室、温度计、被校标准漏孔以及抽气系统，其中：气体微流量计、监测真空计、质谱仪以及抽气系统均与校准室连接；被校标准漏孔设置多个，多个被校标准漏孔均与校准室连接。本申请装置结构简单，方法容易实行，成本低，能够用于不同量级、多种校准气体的标准漏孔的校准，延伸了漏率校准范围，并且能够实现同步对多台被校准漏孔进行校准，提高了校准效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 膨胀 校准 标准 漏孔 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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