[发明专利]检查装置及检查方法在审

专利信息
申请号: 202310096501.3 申请日: 2023-02-10
公开(公告)号: CN116577325A 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 千贺大辅;小林健二;枡谷伸郎 申请(专利权)人: JUKI株式会社
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84;G01N21/01
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 何立波;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 抑制拍摄组件和被拍摄组件拍摄的对象物的碰撞。检查装置具有:拍摄组件,其具有固定焦点光学系统;移动装置,其使拍摄组件和对象物相对移动,以使得对象物的表面的多个区域各自依次配置于固定焦点光学系统的景深;高度数据取得部,其取得多个区域各自的高度数据;装置数据存储部,其对拍摄组件的外形数据进行存储;判定部,其基于高度数据及外形数据,对多个区域各自配置于景深时的拍摄组件的至少一部分和对象物的碰撞可能性进行判定;移动控制部,其以判定为碰撞可能性低的区域配置于景深,判定为碰撞可能性高的区域不配置于景深的方式对移动装置进行控制;以及拍摄控制部,其以对配置于景深的区域进行拍摄的方式对拍摄组件进行控制。
搜索关键词: 检查 装置 方法
【主权项】:
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