[发明专利]具有面外检测运动的微机电陀螺仪在审
| 申请号： | 202310041100.8 | 申请日： | 2023-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN116448087A | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | P·费德利;L·奎利诺尼;P·卡鲁里;L·G·法罗尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开的实施例涉及具有面外检测运动的微机电陀螺仪。微机电陀螺仪设置有检测结构，该检测结构具有：具有平行于水平面的顶表面的衬底；一个可移动质量，该可移动质量被悬置在该衬底上方以根据围绕该水平面的一个第一轴线的一个第一角速度来执行围绕该水平面的一个第二轴线的旋转的至少一个第一检测移动；以及第一定子元件和第二定子元件，所述第一定子元件和所述第二定子元件与所述衬底成一体并且布置在所述移动质量下方以限定电容耦合，所述第一定子元件和所述第二定子元件的电容值表示所述第一角速度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 检测 运动 微机 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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