[发明专利]一种基于多层薄膜基底精密电铸的射线反射聚焦镜制造方法在审
| 申请号： | 202310036096.6 | 申请日： | 2023-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN116043284A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王昆;陈海翔;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 杨益 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于多层薄膜基底精密电铸的射线反射聚焦镜制造方法，通过制备聚焦镜的高精度模具，在模具外表面磁控溅射模具分离膜和多层薄膜，在多层薄膜表面电铸镜壳体，利用模具分离膜与多层薄膜的有效分离最终获得内表面附有多层薄膜的射线反射聚焦镜；本发明将射线反射聚焦镜内表面的超精密加工和磁控溅射多层薄膜难题转化到与聚焦镜模具外表面的直接处理，解决部分小口径内表面直接超精密加工和磁控溅射多层薄膜难题，充分发挥了电铸离子沉积和磁控溅射高均匀性镀膜的技术优势，将模具外表面粗糙度、面形精度和多层薄膜高度、均匀、一致地复制到反射聚焦镜内表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 多层 薄膜 基底 精密 电铸 射线 反射 聚焦 制造 方法 | ||
【主权项】：
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