[发明专利]基于彩色复合条纹的相位测量偏折术缺陷检测装置及方法有效
| 申请号： | 202310010992.5 | 申请日： | 2023-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN115824092B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李惠芬;原续鹏;潘正颐;侯大为;童竹勍 | 申请（专利权）人： | 常州微亿智造科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/255 | 分类号： | G01B11/255;G01N21/88 |
| 代理公司： | 常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙) 32338 | 代理人： | 周浩杰 |
| 地址： | 213023 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于彩色复合条纹的相位测量偏折术缺陷检测装置及方法，包括显示屏、分束片、参考平面反射镜、供参考平面反射镜放置的第一三维平移台、光隔离器、待测镜面物体、供待测镜面物体放置的第二三维平移台、透镜、图像采集模块和计算机；所述显示屏、第一三维平移台、第二三维平移台和图像采集模块均与计算机电连接。本发明将显示屏表面镀膜实现光束的平行出射，并利用迈克尔逊干涉装置，实现被测物体所在平面和参考平面镜所在平面空间的分离，减少成像过程的机械移动，提升效率，提高检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 彩色 复合 条纹 相位 测量 偏折术 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州微亿智造科技有限公司，未经常州微亿智造科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310010992.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
