[实用新型]一种石英坩埚高效清洗装置有效

专利信息
申请号: 202223382073.0 申请日: 2022-12-16
公开(公告)号: CN219073830U 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 陶飞;周勇;吴伟华;毛炳权 申请(专利权)人: 浙江美晶新材料股份有限公司
主分类号: B08B9/28 分类号: B08B9/28;B08B9/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 312300 浙江省绍兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种石英坩埚高效清洗装置,包括底座、设置在所述底座上的支撑块、滑动连接在所述支撑块内的夹紧块、驱动所述夹紧块移动的移动组件和对坩埚的表面进行清洗的清洗装置;所述夹紧块围绕坩埚设置有三组;所述移动组件设置在所述支撑块内;所述清洗装置设置在所述底座上;所述清洗装置的清洗端朝向坩埚且围绕坩埚旋转。解决了无法清洗不同尺寸的石英坩埚,且无法稳定夹持不同尺寸的石英坩埚的问题。
搜索关键词: 一种 石英 坩埚 高效 清洗 装置
【主权项】:
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