[实用新型]一种铬版光罩周转箱有效

专利信息
申请号: 202222255261.0 申请日: 2022-08-26
公开(公告)号: CN218158721U 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 刘玉闯;司继伟;杜武兵 申请(专利权)人: 深圳市路维光电股份有限公司
主分类号: G03F1/66 分类号: G03F1/66
代理公司: 成都行之智信知识产权代理有限公司 51256 代理人: 李林
地址: 518000 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种铬版光罩周转箱,以解决铬版光罩在周转时容易被静电击伤的问题,该铬版光罩周转箱包括:箱体,所述箱体具有用于装取铬版光罩的装取槽;导电体,所述导电体设置在所述装取槽内以在装取铬版光罩时持续与铬版光罩接触,所述导电体具有位于所述箱体外的接地端。本实用新型通过导电体的设置,能够将产生的静电释放到地端,从而可以避免静电将铬版光罩击伤,继而能够保证铬版光罩的产品品质,提高铬版光罩的产品良率。
搜索关键词: 一种 铬版光罩 周转
【主权项】:
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