[实用新型]炉口冷却装置有效
| 申请号： | 202222140727.2 | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN218270238U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 朱太荣;刘磊;易术;林佳继 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518122 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体技术领域，公开了炉口冷却装置，包括水冷组件；水冷组件包括水冷壳体，水冷壳体内设有水冷管，水冷壳体上设有出风口；该炉口冷却装置还包括风机和连接组件，该连接组件包括连接管道，水冷壳体与风机通过连接管道相连通，以能够使风机通过连接管道向水冷壳体内送气体。通过风机输送气体至水冷壳体内，然后通过水冷管将进行冷却后，冷却气体进入到炉口腔室内，使炉口腔室处进行快速降温，延长炉门密封圈的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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