[实用新型]基于扫描电镜的激光诱导石墨烯原位加工检测装置有效
| 申请号： | 202221693784.7 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN217586998U | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 张起勋;孙兵华;刘欣;费鼎;高陈晨 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N23/2252 | 分类号： | G01N23/2252;G01N23/2202;C01B32/184 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 王怡敏 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于扫描电镜的激光诱导石墨烯原位加工检测装置，属于激光加工和材料性能原位检测技术领域。准直器和扩束器集成在箱体内，箱体通过法兰一与法兰二连接，法兰二与连接套筒相连，连接套筒内壁安装滑轨，滑轨与滑块相配合，滑块与连接杆固定连接，场镜固定在连接杆的端部；滚珠丝杠二的动力源端与连接套筒外部固定连接，滚珠丝杠二的传动端与挡板相连接，挡板与连接杆固定连接；激光测距传感器与滚珠丝杠二的动力源端固定连接。优点在于：构思新颖，结构简单，对光纤激光器进行改进，使其可以调节聚焦位置；将光纤激光器与扫描电镜相结合，实现动态观测激光加工过程中表面微结构变化，为研究激光诱导石墨烯提供新的技术手段。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 扫描电镜 激光 诱导 石墨 原位 加工 检测 装置 | ||
【主权项】：
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