[实用新型]一种双摆缸对射光纤传感器Mapping的检测装置有效
| 申请号： | 202221065679.9 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN217587485U | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 赵罡;赵洪亮 | 申请（专利权）人： | 北京海岚科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01B11/00;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 徐江华 |
| 地址： | 102627 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双摆缸对射光纤传感器Mapping的检测装置，包括：箱门，所述箱门正面顶部的左侧固定连接有第一摆动气缸，所述箱门正面顶部的右侧固定连接有第二摆动气缸，所述第一摆动气缸的输出轴且位于箱门的上方连接有第一光纤传感器安装架，所述第二摆动气缸的输出轴且位于箱门的上方连接有第二光纤传感器安装架。本实用新型通过第一摆动气缸和第二摆动气缸带动第一光纤传感器安装架与第二光纤传感器安装架摆动，完成第一对射光纤传感器与第二对射光纤传感器之间光纤的发射与接收，实现Mapping功能，对于转载硅片的数量及装载位置的安全检测，可以有效提高Mapping的检测稳定性及安全性，结构实现安全可靠，稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双摆缸 对射 光纤 传感器 mapping 检测 装置 | ||
【主权项】：
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