[实用新型]一种真空干燥设备有效
| 申请号： | 202220343116.5 | 申请日： | 2022-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN217259213U | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 唐鹏宇;穆欣炬;马中生 | 申请（专利权）人： | 义乌清越光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 刘彦伟 |
| 地址： | 322001 浙江省金华市义乌市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空干燥设备，涉及干燥设备技术领域。所述真空干燥设备包括壳体和隔板，所述壳体内设置有真空腔室；所述隔板的数量为两个，两个所述隔板均设置在所述真空腔室内并将所述真空腔室分隔成进气室、干燥室和出气室，基板设置在所述干燥室内，所述隔板上开设有气流孔，所述进气室、所述干燥室和所述出气室依次通过所述气流孔相连通，且所述气流孔的最低点所在平面均高于所述基板的最高点所在平面。该真空干燥设备结构简单，操作方便，能保证基板膜面的平整性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 干燥设备 | ||
【主权项】：
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