[实用新型]晶圆对中校正定位机构有效
| 申请号： | 202220115922.7 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN216781408U | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 范镜;袁碧华;张得意;张彥志;贺超;卢伟阳 | 申请（专利权）人： | 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B47/00 |
| 代理公司： | 深圳市壹壹壹知识产权代理事务所(普通合伙) 44521 | 代理人： | 师勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种晶圆对中校正定位机构，包括基座、电机、压紧气缸，电机和压紧气缸同轴相向竖直设置于基座上，电机的输出轴上设有下夹盘，压紧气缸的活塞杆上设有压紧轴，压紧轴底端对应设有上夹盘，所述定位机构还包括第一XZ轴伺服丝杆驱动组件、第二XZ轴伺服丝杆驱动组件，第一XZ轴伺服丝杆驱动组件、第二XZ轴伺服丝杆驱动组件上分别设有左夹臂和右夹臂，左夹臂和右夹臂分别位于下夹盘的左右两侧，左夹臂底端设有定位部A，右夹臂底端并排设有间隔预设距离的定位部B和定位部C。本实用新型通过三点进行定位，能够始终将晶圆进行居中，结构简单，校正方便，提升了晶圆的抛光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 定位 机构 | ||
【主权项】：
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