[实用新型]晶圆传送盒

摘要

本实用新型涉及一种晶圆传送盒，晶圆传送盒包括：盒本体、支撑部、输气管与连通管。盒本体的内壁上形成有进气孔。支撑部设置于盒本体的内壁上，支撑部用于支撑晶圆片。输气管间隔地设于支撑部的上方，输气管的管壁上设有排气孔。排气孔对着支撑部。输气管与连通管相连通，连通管与进气孔相连通。上述晶圆传送盒工作时，晶圆片通过支撑部支撑固定并存储于盒本体的内部，清扫气源通过进气孔进入连通管，由连通管输送给输气管，通过输气管的排气孔向外排出，输气管排出的清扫气流对支撑部进行气流吹扫，从而大幅减少支撑部及晶圆片表面区域吸附的水汽以及HF的量，最终可以大幅减轻产生压焊点晶体缺陷的风险及程度。