[发明专利]异质结太阳能电池及其制备方法

摘要

本申请公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法，属于太阳能电池技术领域。一种异质结太阳能电池的制备方法，该方法包括：在半导体衬底的背面图形化以形成第一掺杂区域和第二掺杂区域，第一掺杂区域形成有第一本征i层和n型掺杂层，n型掺杂层为掺杂有第VA族元素的掺氧微晶硅层；形成第二本征i层和p型掺杂层，p型掺杂层为掺杂有第ⅢA族元素的非晶或微晶硅层；在第二本征i层和p型掺杂层上形成图形化的掩膜层，使第一掺杂区域上的第二本征i层和p型掺杂层裸露出，去除裸露的第二本征i层和p型掺杂层并保留第一本征i层和n型掺杂层。本发明可以简化制备工艺，减少由于隔离层进入腔体引起的污染风险，减少增加或去除隔离层的繁琐步骤。