[发明专利]一种多轴旋切扫描系统的使用方法有效

专利信息
申请号: 202210410019.8 申请日: 2022-04-19
公开(公告)号: CN114505602B 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 孙喜博;张颖;马文静;耿远超;王凌芳;王文义;黄晚晴;刘兰琴 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B23K26/382 分类号: B23K26/382;B23K26/064;B23K26/082
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 于晶晶
地址: 621999*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及一种多轴旋切扫描系统及其使用方法,属于激光旋切打孔技术领域,多轴旋切扫描系统包括第一快反镜、第二快反镜、第三快反镜和F‑theta透镜,所述第一快反镜和第二快反镜平行且间隔设置,且第一快反镜和第二快反镜镜像联动,所述第三快反镜对应F‑theta透镜设置,且第三快反镜与F‑theta透镜的主面的距离等于F‑theta透镜的焦距,光束依次经第一快反镜、第二快反镜、第三快反镜入射至F‑theta透镜,并经F‑theta透镜透射聚焦至工作面,本发明通过控制第一快反镜、第二快反镜、第三快反镜联动实现多种旋切扫描方式以及加工角度自由控制,实现光束由F‑theta透镜聚焦后光斑在工作面位置及锥角变化,相较于光楔模式具有可任意调节性。
搜索关键词: 一种 多轴旋切 扫描 系统 使用方法
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