[发明专利]一种测量透明薄膜光学参数的方法及应用在审
| 申请号： | 202210409580.4 | 申请日： | 2022-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN114894442A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 梁浩;彭力;黄佐华 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 苏运贞 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量透明薄膜光学参数的方法及应用。本发明通过用光谱仪测得透明薄膜的光谱反射率，用单波长椭偏仪测量透明薄膜的折射率及厚度；采用自适应粒子群算法对测量得到的厚度进行修正；利用模拟退火算法在设定波长段内对薄膜的折射率进行反演，得到透明薄膜在设定波长内的折射率分布；对反演得到的折射率进行降噪及平滑处理，得到准确的折射率色散分布曲线。本发明不需要假设待测薄膜的色散类型，就可以测量求解薄膜的厚度及其折射率色散分布，可用于透明薄膜或弱吸收薄膜的测量；且所需测量设备成本低、测量过程简单、方便，测量精确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 透明 薄膜 光学 参数 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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