[发明专利]一种柔性阵列式湿度压力传感器及其制备工艺有效
| 申请号： | 202210366550.X | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN114858339B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 李辉;唐舞阳;张云帆;申胜男 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01N27/22;A61B5/024;B41M5/00 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 杨宏伟 |
| 地址： | 430072 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性阵列式湿度压力传感器及其制备工艺，柔性阵列式湿度压力传感器从下到上依次包括柔性基底、下层电路、绝缘层、吸水层、上层电路和柔性保护层，本发明通过喷墨打印工艺，首先在柔性基底上制作下层电路，下层电路包括至少一个湿度和多个压力单元的下层电路，之后覆盖绝缘层，之后在湿度传感单元上覆盖吸水层，然后在吸水层和压力传感单元分别喷墨打印电路，制备上层电路，其中，湿度传感区域的电容顶极板上设有便于吸湿和蒸发的大量微孔；最后覆盖柔性保护层，并预留湿敏窗口。本发明同时集成了湿度和压力测量单元，并且相互不干扰，本发明结构简单、使用方便、使用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 阵列 湿度 压力传感器 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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