[发明专利]一种反射延迟线型声表面波湿度传感器在审
| 申请号： | 202210252230.1 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN114563471A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王文;陆铭慧;何新军;薛蓄峰;高旭;刘勋丰;朱颖 | 申请（专利权）人： | 南昌航空大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/24;F17D5/06 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;张红生 |
| 地址： | 330063 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种反射延迟线型声表面波湿度传感器，所述声表面波湿度传感器包括压电基底(1)，压电基底(1)上表面设置声表面波叉指换能器(2)和声表面波反射栅(4)，声表面波反射栅(4)设置在声表面波叉指换能器(2)的两侧，在声表面波叉指换能器(2)和一侧的声表面波反射栅(4)之间设置镀膜区(3)，镀膜区(3)的表面涂覆敏感层(5)。本发明通过采用耐辐射性强的敏感层结构、铌酸锂压电基底及铝电极结构，确保了传感器在辐射环境下的稳定性，相对湿度区间为10％‑100％的条件下，可以达到5％的灵敏度，用于核电站反应堆冷却系统管道泄露监测的可解决核冷却管道泄露高湿度监控布线难、维护难的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 延迟 线型 表面波 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南昌航空大学，未经南昌航空大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210252230.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
