[发明专利]一种具有超声波清洁功能的抛光液供应系统在审
| 申请号： | 202210231986.8 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN114571366A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 丁玉;王永成 | 申请（专利权）人： | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B57/00;B24B55/00;B08B9/08;B08B9/087 |
| 代理公司： | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人： | 韦志刚;曹月明 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有超声波清洁功能的抛光液供应系统，其结构包括管路、容器、定位座、电机、超声波振子，管路插入于容器的侧方下端部位，本发明由容器所进一步改进后，其可在容器进行养护时先向容器内部注入相应的纯水，再者利用超声波振子的超声波功能，达到两者相互搭配使其能够利用超声波与纯水的加持下能够将内部结晶进行快速剥落，同时腔体下端两侧辅助块可使结晶剥落后进行集中在中心点当中，进而能够防止结晶掉落处于零碎分散状态，并且根据所新增的清刷架构能在超声波振子运作过程不断在外壳内壁当中进行上下循环运动，使其能进一步的将内壁进行清刷，加快结晶的掉落速度以及进一步的提升腔体内的洁净程度，减少养护时长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 超声波 清洁 功能 抛光 供应 系统 | ||
【主权项】：
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