[发明专利]针对带电粒子设备的高压馈通装置和连接器在审
| 申请号： | 202180063145.4 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN116491030A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | B·W·H·J·范德克鲁恩;J·范索伊斯特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01R13/53 | 分类号： | H01R13/53 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了用于将真空工具的馈通装置电连接到高压电源的连接器，连接器包括：连接器导线组件，其被配置为与高压电源电连接；以及包括通道的连接器绝缘体，通道被配置为延伸到连接器绝缘体中并且接收馈通引脚，以将连接器导线组件与馈通引脚电连接；其中连接器绝缘体被配置为与馈通装置接合，使得连接器绝缘体的边界表面沿着通道的纵向轴线的方向基本上双向地延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 带电 粒子 设备 高压 装置 连接器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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