[发明专利]预湿模块和预湿方法有效
| 申请号： | 202180005800.0 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN114616360B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 关正也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D5/00 | 分类号： | C25D5/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张丰桥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提高基板的被处理面的清洗处理和脱气处理的效率。预湿模块(200)具备：工作台(220)，其构成为对使被处理面(WF‑a)向上的基板(WF)的背面进行保持；旋转机构(224)，其构成为使工作台(220)旋转；预湿室(260)，其具备具有与基板(WF)的被处理面(WF‑a)相向的相向面(262a)的盖构件(262)和安装于盖构件(262)的相向面(262a)的外缘部的筒状构件(264)；升降机构(230)，其构成为使预湿室(260)升降；脱气液供给构件(204)，其构成为对形成于预湿室(260)与基板(WF)的被处理面(WF‑a)之间的预湿空间(269)供给脱气液；喷嘴(268)，其安装于盖构件(262)的相向面(262a)；以及清洗液供给构件(202)，其构成为经由喷嘴(268)而对基板(WF)的被处理面(WF‑a)供给清洗液。 | ||
| 搜索关键词： | 模块 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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