[实用新型]盖板结构、基板载具和电化学沉积设备有效
| 申请号： | 202121278004.8 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN216192809U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 董鹏程;闫俊伟;袁广才;王成飞;王大军;张国才;董士豪;曹占锋;谷新;刘英伟;汪建国;姚舜禹;李树磊;孙少东 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/08;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 魏艳新;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种盖板结构、基板载具和电化学沉积设备。盖板结构用于基板载具中，所述基板载具包括：承载板和设置在所述承载板上的电极，所述承载板具有承载区，所述承载区用于承载待镀膜的基板，所述电极环绕所述承载区；所述盖板结构包括：盖板本体，所述盖板本体包括：框形的安装板；设置在所述安装板上、且彼此间隔的多个导电件，每个所述导电件具有第一导电端和第二导电端，所述第一导电端用于与所述基板接触，所述第二导电端用于与所述电极接触，所述第一导电端到所述安装板的距离、所述第二导电端到所述安装板的距离均可调。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板 结构 基板载具 电化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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