[实用新型]离子源的电源装置及离子源设备有效
| 申请号： | 202120147993.0 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN213752617U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 冀鸣;刘伟基;赵刚;易洪波;刘运鸿 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J27/14 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 王园园 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子源的电源装置及离子源设备，所示电源装置包括：连接阳极的阳极电源，以及连接气体分配片的气体分配片电源；所述阳极电源向阳极提供直流电压；所述气体分配片电源在阳极电源工作时向所述气体分配片提供额外的调节电压，用于调节所述阳极在气体分配片上产生的感应电压。该技术方案，可以避免气体分配片的感应电压过高或过低对气体分配片产生的影响，对气体分配片起到了有效的保护作用。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 电源 装置 设备 | ||
【主权项】：
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