[发明专利]一种水电混合快速高真空烤箱及其工作方法

摘要

本发明公开了一种水电混合快速高真空烤箱及其工作方法，采用内电加热模块、水加热隔板模块及外电加热模块混合加热的方式，在加热前期使用内电加热模块、水加热隔板模块及外电加热模块同时加热，能够快速升温，当真空烤箱达到超高真空后，关闭内电加热模块以避免产生电弧，由水加热隔板模块及外电加热模块进行加热，能够解决现有技术存在的问题。本发明包括烤箱主体及至少一个内腔室，内腔室内设置有控制器、内电加热模块及至少一层水加热隔板模块，在内腔室外周面并与烤箱主体之间设置有外电加热模块；水加热隔板模块包括水加热隔板、冷热水供应单元、设置在水加热隔板内部的加热水管及温度探头、以及将加热水管及冷热水供应单元连接的输送管道。