[发明专利]引线键合界面透射电子显微镜样品的制备方法及观测金属间化合物演化过程的方法在审
| 申请号： | 202111385254.6 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN114062083A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 吴幸;王亚男;张子健;叶长青;骆晨;王超伦 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/20058 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 霍苗 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及引线接合界面金属间化合物技术领域，尤其涉及引线键合界面透射电子显微镜样品的制备方法及观测金属间化合物演化过程的方法。本发明提供的制备方法，首先将键合球表面、与所述键合球接触的焊盘表面沉积金属保护层，防止离子束切割时对键合球和焊盘的破坏，得到键合球‑焊盘样品后，对键合球‑焊盘样品纵向离子束切割，得到裸露的引线键合界面，再次对裸露引线键合界面的键合球‑焊盘样品的引线键合界面区域沉积金属保护层进行离子束切割，有效防止离子束切割时引线键合界面的破坏。本发明提供的制备方法选择芯片封装体内的引线键合界面制样，制备得到的引线键合界面透射电子显微镜样品精准度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 引线 界面 透射 电子显微镜 样品 制备 方法 观测 金属 化合物 演化 过程 | ||
【主权项】：
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