[发明专利]一种防尘式扩膜机在审
申请号: | 202111109845.0 | 申请日: | 2021-09-23 |
公开(公告)号: | CN113823584A | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 安长龙 | 申请(专利权)人: | 江苏昶明智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B01D46/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214021 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明一种防尘式扩膜机,包括机体,设置在机体上且呈外露状的机身,位于机身一侧的所述机体上设有隐藏式用于机身防尘的防尘机构,所述防尘机构包括隐藏槽、防尘板和密封框,所述隐藏槽设置在机身的一侧;所述防尘板可上下运动的滑动连接在隐藏槽内;所述密封框,呈U形,且密封框转动连接在防尘板内;其中,所述防尘板内设有与密封框相匹配的收缩槽,所述密封框底部与收缩槽转动连接,所述收缩槽内壁与密封框边框之间设有相连接且用于机身防尘的防尘罩,所述防尘罩呈柔软可折叠状,收缩槽、防尘罩和密封框的设计,使防尘板完全拔出后,密封框能够向外旋转,带动折叠状的防尘罩完全展开,从而使防尘罩将裸露在外的机体完全密封,实现了防尘。 | ||
搜索关键词: | 一种 防尘 式扩膜机 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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